X線光学部品

VUV、EUV、軟X線領域における高効率・広帯域なフラットフィールド分光器、XAFS装置、コンパクトなX線CCDカメラなど、これまでにない分光・光検出ソリューションを提供いたします。

X線顕微鏡用高解像性チャートです。極微細パタン（50nm以下）も対応可能です。

任意の透過率・反射率を持つEUVビームスプリッタを提供いたします。EUVハーフミラーとも呼ばれるEUVビームスプリッタを用いることで、可視光や紫外光と同様にEUV光を透過性分と反射成分とに分割することができます。

硬X線用の多層膜ミラー・単層膜ミラーを提供いたします。制作例・設計例を掲載しております。

高品質のEUV(極端紫外線）/ X線集光ミラーをご提供しています 。制作例多数ご紹介しております。

20 eV - 150 eV（波長60 nm - 8 nm）用多層膜ミラーの設計例です

10 eV - 1 keV（波長120 nm - 1.2 nm）用単層膜ミラーの設計例です

EUV光を可視光や近赤外光から分離するダイクロイックミラーを提供いたします。

高分解能・高コントラストです。X線照射耐性の優れるSiCメンブレンです。

FZP中央の透過X線を遮断した、X線照射耐性の高いSiCメンブレンです。

薄いメンブレンへ加工した微細パタン（グレーティング）です。

軟X線を透過する、SiN,SiCメンブレンと極薄貴金属構造です。金属膜は観察試料からの検出X線に合わせて選択いただけます。

さまざまなX線光学部品を組み合わせたEUV（極端紫外線)/Ｘ線光学システムを、お客様のご用途に合わせて、設計・製作・調整させて頂きます。

X線光学研究における製造パートナーをお探しの方へ！ NTT-AT社のX線光学部品開発の例をご紹介します。

EUVミラーなど、X線光学部品に関する論文をまとめました。