X線光学部品

さまざまなX線光学部品を組み合わせたEUV（極端紫外線)/Ｘ線光学システムを、お客様のご用途に合わせて、設計・製作・調整させて頂きます。

X線顕微鏡用高解像性チャートです。極微細パタン（50nm以下）も対応可能です。

干渉計、エリプソメータ、X線レーザなどに利用可能です。

放射光、レーザープラズマX線、高次高調波などに適用する極端紫外線フィルタをご提供しております。ご用途に応じたフィルタをご提供いたします。

高品質のX線集光ミラーをご提供いたします 。制作例多数掲載しております。

高品質のEUV(極端紫外線）/X線集光ミラーをご提供しています 。制作例多数ご紹介しております。

高分解能・高コントラストです。X線照射耐性の優れるSiCメンブレンです。位相型（ステップタイプ）のFZPにも対応可能です。

FZP中央の透過X線を遮断した、X線照射耐性の高いSiCメンブレンです。

薄いメンブレンへ加工した微細パタン（グレーティング、ピンホール）です。

軟X線を透過する、SiN,SiCメンブレンと極薄貴金属構造です。金属膜は観察試料からの検出X線に合わせて選択いただけます。