NTT-ATでは、お客様のご用途に合わせて、設計・製作・調整させて頂きます。 X線 / EUV分光器・光検出器 VUV、EUV、軟X線領域における高効率・広帯域なフラットフィールド分光器、XAFS装置、コンパクトなX線CCDカメラなど、これまでにない分光・光検出ソリューションを提供いたします。 X線チャート <カタログ製品> X線顕微鏡用高解像性チャートです。極微細パタン(50nm以下)も対応可能です。 EUVビームスプリッタ 任意の透過率・反射率を持つEUVビームスプリッタを提供いたします。EUVハーフミラーとも呼ばれるEUVビームスプリッタを用いることで、可視光や紫外光と同様にEUV光を透過性分と反射成分とに分割することができます。 硬X線ミラー 硬X線用の多層膜ミラー・単層膜ミラーを提供いたします。制作例・設計例を掲載しております。 EUVミラー / 軟X線ミラー 高品質のEUV(極端紫外線)/ X線集光ミラーをご提供しています 。制作例多数ご紹介しております。 EUV多層膜ミラー設計例 20 eV - 150 eV(波長60 nm - 8 nm)用多層膜ミラーの設計例です EUV単層膜ミラー設計例 10 eV - 1 keV(波長120 nm - 1.2 nm)用単層膜ミラーの設計例です EUVダイクロイックミラー EUV光を可視光や近赤外光から分離するダイクロイックミラーを提供いたします。 X線フレネルゾーンプレート 高分解能・高コントラストです。X線照射耐性の優れるSiCメンブレンです。 センタービームストップ素子 FZP中央の透過X線を遮断した、X線照射耐性の高いSiCメンブレンです。 透過型回折格子 薄いメンブレンへ加工した微細パタン(グレーティング)です。 X線フィルタ容器 軟X線を透過する、SiN,SiCメンブレンと極薄貴金属構造です。金属膜は観察試料からの検出X線に合わせて選択いただけます。 EUV(極端紫外線) / X線光学システム設計・製作 さまざまなX線光学部品を組み合わせたEUV(極端紫外線)/X線光学システムを、お客様のご用途に合わせて、設計・製作・調整させて頂きます。 X線光学部品 開発事例 X線光学研究における製造パートナーをお探しの方へ! NTT-AT社のX線光学部品開発の例をご紹介します。 関連文献 EUVミラーなど、X線光学部品に関する論文をまとめました。