硬Ｘ線ミラー

高品質のX線集光ミラーをご提供いたします

• K-Bミラー,楕円面ミラー,放物面ミラー,シリンドリカルミラー（円筒面ミラー）,平面ミラー
• 多層膜（W/B₄C, W/C, W/Si, Pt/C等）, 単層膜（Pt, Au, Ru 等）
• 高反射率
• 大面積（長さ ～500mm ）
• 短周期構造（最短周期長～0.9 nm）
• 硬Ｘ線用偏光子（＜１keV程度）

製作例

多層膜Ｋ-Ｂミラー（Multilayer mirror for K-B mirror system）

• 基板サイズ： 500×100mm²
• W/C多層膜コーティング

K-Bミラーシステム用多層膜ミラー

反射率評価例（波長：0.154nm, 青：実測値，
桃色：計算値, 周期長 2.95nm)
 

平面ミラー（Plane mirror）

平面ミラー（Plane mirror）

• 基板サイズ： 140×10mm²
• Pt 単層膜コーティング

簡易型シリンドリカルミラー（Cylindrical mirror）

簡易型シリンドリカルミラー（Cylindrical mirror

• 円筒面部サイズ： 100×10mm²
• 曲率半径 4 mm
• Ru 単層膜コーティング
   

回転楕円面ミラー（Ellipsoidal mirror）

回転楕円面ミラー（Ellipsoidal mirror）

基板サイズ： 110×80mm²

三色全反射ミラー（Plane mirror with Pt and Ru）

 

多層膜偏光子（Multilayer polarizer）

基板サイズ： 20×20mm²

反射率実測値（入射角45度）

反射率評価例 （波長：0.154nm, 青：実測値，赤色：計算値, 周期長 0.93nm）