- X線顕微鏡、放射光ビームモニター等各種X線光学系用
- X線照射耐性の優れるSiCメンブレン
主な仕様
FZPのX線吸収体パタン
パタン外観（光学顕微鏡）
FZP 斜め観察像（SEM）
FZPの構造
バイナリー型
| 最小最外周ゾーン幅 | 25nm |
|---|---|
| 最大直径 | 5mm |
| メンブレン材料 | SiN、SiC |
| メンブレン厚さ | 0.2～2μｍ |
| 吸収体材料 | Ta |
| 吸収体厚さ | 0.1～2μｍ |
| Si基板外形 | 10mm角 |
| Si基板厚さ | 1mm |
*仕様につきましてはご相談に応じます。お気軽にお問い合わせ下さい。
製作例
極微細FZP
FZP直径： 250μm、Ta膜厚： 125nm、最外周ゾーン幅： 25nm、メンブレン： SiC 2.0μm
最外周部のSEM像： ゾーン幅25nm
厚膜FZP（高アスペクトFZP）
FZP直径： 100μm、Ta膜厚： 2.5μm、最外周ゾーン幅： 250nm、メンブレン： SiN 2.0μm
最外周部のSEM像： Ta吸収体膜厚2.5μm
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