ホーム > 材料分析サービス > 形態観察 > 透過電子顕微鏡 TEM > 透過型電子顕微鏡 TEM

透過型電子顕微鏡 TEM

営業部門 TEL 046-270-2075 (受付9:00~17:00)土日祝日年末年始を除く平日
お問い合わせフォーム
デバイス・材料の形態・構造・組成評価を原子レベルで行います。NTT-AT の材料分析サービスラインナップのひとつであるTEM による半導体材料の形態観察は、NTT 研究所で長年培ってきた膨大な分析件数と、そのノウハウの結晶ともいえる分析サービスです。

TEM観察とは?

試料を透過した電子を使い、像を結像する方法
TEM装置外観
装置外観
観察イメージ

■ 得られる情報

結晶構造 結晶方位 格子定数 極性
規則状態 配向 結晶性 ボイド
表面ラフネス ドメイン構造 結晶欠陥 原子配列

■ 得られる像の種類

暗視野 明視野 格子像

■ 指定特定領域でのEDS分析

FIB加工法はサブミクロンの特定箇所の断面TEM試料作製に威力を発揮します。下記の例は、コンタクト部での異常(アロイスパイクの発生)を観察したものです。また、EDXを用いることにより数nm領域の組成を調べる事も可能です。
この例では異常部分においてAlの発生が確認されました。

異常コンタクト
(アロイスパイク発生)
EDX測定場所

 

 

製品一覧

閉じる

サービス一覧

材料分析サービス

  • 形態観察
    デバイスや材料の形態・構造、および結晶構造解析を行っております
  • 試験特性評価
    光通信材料の光学特性や、タッチパネル、ハンディ端末の指紋汚れの定量評価等

材料分析サービス

閉じる

課題解決のご提案一覧

ガスパイプライン点検作業

閉じる

カタログ一覧

閉じる