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金属多層膜の断面構造観察

TEM観察

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エッチングレートの異なる基板と膜でも、広範囲に断面TEM観察が可能です。下の写真は、Sl基板上のMo/Sl多層膜の断面TEM観察の例です。

Sl基板上のMo/Sl多層膜断面TEM観察例


 

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