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Co-Cr合金薄膜の微細偏析構造

超高分解能SEM観察

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Co-Cr合金磁性薄膜は、結晶粒内に微細な組成分離構造を有する事が知られています。この微細偏析構造を超高分解能で観察しました。

10万倍 100nm



適切なエッチングを施すことにより微細偏析構造を浮き出させ、数十Åの微細な構造が明確に観察することができました。

 

50万倍 10nm

 

※ Yasushi Maeda and Masayoshi Asahi
J.Appl phys.61(5)MARCH 1987


 

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