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ウィークビーム法によるGaNエピ膜の転位観察

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ウィークビーム法とは

励起誤差を大きくした条件(|sg|>>0)で観察するため、通常の条件(sg=0, もしくは僅かに正)に比べて回折波の強度が弱い(ウィークビーム)。転位芯近傍のみがBragg条件を満足するため、通常の暗視野像に比べシャープな転位像が得られる。

 

ウィークビーム法により転位をシャープに観察し、転位の種類(刃状、らせん)を判定しました。

 

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