特徴
X線チャートSEM像
X線顕微鏡は高解像度のイメージング手法として様々な分野で応用されていますが、その評価には十分に高い解像度を持つチャートが必要です。 高精細なタンタル(Ta)製の吸収体パタンをSiCおよびSiNメンブレン上に形成したNTT-ATのX線チャートは、 世界中の放射光施設などで解像度評価にお使いいただいています。
ご用途に合わせ、標準タイプ・厚膜高解像度タイプ・超高解像度タイプ の3種からお選びいただけます。 EUV領域用の反射型チャートもご提供いたします。
ご用途に合わせ、標準タイプ・厚膜高解像度タイプ・超高解像度タイプ の3種からお選びいただけます。 EUV領域用の反射型チャートもご提供いたします。
標準品仕様
| 項目 |
標準タイプ XRESO-100 |
厚膜高解像度タイプ XRESO-50HC |
超高解像度タイプ XRESO-20 |
|
|---|---|---|---|---|
| パタン | 吸収体 | Ta, 1.0 µm厚 | Ta, 500 nm厚 | Ta, 100 nm厚 |
| 最小寸法 | 100 nm | 50 nm | 20 nm（放射状パタン） | |
| パタン領域 | 250 µm×350 µm |
300 µm×300 µm
|
||
| メンブレン | Ru (20 nm)/SiN (2 µm) | Ru (20 nm)/SiC (200 nm)/SiN (50 nm) | ||
| 基板 | 材質・外形 | Si, 10 mm×10 mm | ||
| 厚み | 1 mm | 0.625 mm | ||
(a)X線チャート部 (b)Ru/SiNメンブレン (c)Si基板 (d)Ta吸収体
※記載された仕様等は製品改良の為お断りなく変更する事があります。ご了承下さい。
代表パタンSEM像
放射状パタン
(XRSO-20)
(XRSO-20)
100 nmホールパタン
(XRESO-20)
(XRESO-20)
50 nmライン＆スペースパタン
(XRSO-20)
(XRSO-20)
50 nmライン＆スペースパタン
(XRESO-50HC)
(XRESO-50HC)
パタンレイアウト
超高解像タイプ XRESO-20
①放射状パタン, ②100 nmホールパタン, ③50 nmライン＆スペースパタン
①放射状パタン, ②100 nmホールパタン, ③50 nmライン＆スペースパタン
厚膜高解像タイプ XRESO-50HC
①放射状パタン, ②50 nmライン＆スペースパタン
①放射状パタン, ②50 nmライン＆スペースパタン
標準タイプ XRESO-100
撮像例
検査装置：東研 TUX-5000F, チャート：XRESO-50HC
(株式会社東研様ご提供)
(株式会社東研様ご提供)
カスタムチャート製造例
EUV用反射型チャート
多層膜：波長13.5 nm用Mo/Si, 吸収体：Ta
多層膜：波長13.5 nm用Mo/Si, 吸収体：Ta
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