各種高品質のEUV(極端紫外線）/X線集光ミラーをご提供しています
- 各種形状： 平面、凸面、凹面、球面、シリンドリカル, 回転楕円等
- 各種波長用多層膜ミラー
- 各種単層膜(金属, 炭化物，酸化物, 等)ミラー
- 大型多層膜ミラー（～φ300mm）
- 高耐熱多層膜ミラー
※ 硬X線ミラーもご提供しています。
また、下記のサービスもご提供しています。
◆新規多層膜受託開発
◆EUV/X線集光光学系および光学システムの設計・製作
作製例
Mo/Si 多層膜ミラー（Mo/Si multilayer mirror）
- 波長13～30nm で利用される多層膜ミラーです。
- EUV 光を反射・集光・分光します。 EUVL、X線望遠鏡、X線顕微鏡、プラズマ診断、高次高調波利用実験、等各種応用にご利用いただいております。
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中間層を介在させた耐熱性多層膜ミラー（バリア層付多層膜）も作製致します。
（H. Takenaka et al, OSA TOPS on EUVL, p.169, Vol.4, 1996）
X線ミラー断面構造例とX線反射の構造図
反射率実測値（直入射角：2度）
各種Mo/Si 多層膜ミラー
Φ10mm平面ミラー
Φ100mm凹面鏡
φ12インチ平面鏡
シュワルツシルト光学系用凹面鏡，凸面鏡
分割凹面鏡
EUV ブロードバンドミラー & EUV ナローバンドミラー（EUV Broadband mirror & EUV narrowband mirror）
- EUV ブロードバンドミラーとは、通常の多層膜よりも広い波長域で反射する多層膜ミラーで、複数次数にわたる輝線の反射などに用いられます。
- EUVナローバンドミラーとは、通常の多層膜よりも狭い波長半値幅の多層膜ミラーで、特定の輝線を選び出す分光測定などにご利用頂けます。
反射率実測値（入射角：直入射2度）
EUVブロードバンド回転楕円面多層膜反射鏡例。φ100mmZerodure基板上にMo/Siブロードバンド多層膜が形成されています。
EUV グレーディッドミラー（EUV graded mirror）
- 基板面内で変化する入射角度に対応して、周期長を精密制御した多層膜ミラーです。基板全面での高反射率が可能になります。
- φ300mm超の曲面基板にグレーデッドミラーを形成いたします。
- 下記左図は、入射角が直入射0度から直入射角10度程度まで変化する凹面鏡上に形成したEUVグレーディッドMo/Si多層膜の反射率評価例です。基板設計入射角度で測定した結果、反射ピークが非常にそろっていたことを示しています。
反射率実測値例。
設計入射角での基板面各点での測定結果。
設計入射角での基板面各点での測定結果。
グレーディッドミラー構造例。赤色矢印が、光線を表す。基板中心付近では、入射角が直入射角0度で、対応する多層膜周期長は短い。基板端に向かって直入射角が大きくなるにつれ、多層膜周期長は長くなる。
EUV 斜入射ミラー / 全反射ミラー（Grazing-incidence mirror / Total-reflection mirror）
- EUV 領域における斜入射光学系に用いられる全反射ミラーです。
- さまざまな基板（平面、凸面、凹面、球面、非球面、シリンドリカル等）に、金属や炭化物，酸化物を形成いたします。
反射率実測値例
（Ru 単層膜コーティング，入射波長13.5nm）
（Ru 単層膜コーティング，入射波長13.5nm）
反射率実測値例
（SiC単層膜コーティング，入射角10度）
（SiC単層膜コーティング，入射角10度）
波長 30nm 用 SiC/Mg 多層膜ミラー（SiC/Mg multilayer mirror）
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波長30nm付近用高反射率多層膜です。
（H. Takenaka et. al., J. Electron Spectrosc. Relat. Phenom., 144-147,（2005）1043-1045） - EUV 光を利用した各種応用（宇宙観測、高次高調波を用いた各種実験）に利用されます。
反射率実測値例（入射角：直入射2度）
φ1インチ凹面鏡
波長 6nm 用 Cr/C & CoCr/C 多層膜ミラー（Cr/C & CoCr/C multilayer mirror）
- 波長6nm付近 で利用される多層膜ミラーです。
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顕微光電子分光用集光光学系に用いる多層膜ミラーとして開発したものです。
（H. Takenaka et al, J. Phys. IV France, p.255, vol.104, 2003）
反射率実測値例（入射角：直入射2度）
その他作製実績
様々な種類の多層膜ミラー，全反射ミラーを作製しております。
お気軽にお問い合わせください。
| 多層膜例： | Co/C, CoCr/C, Cr/C, Fe/TiC, Fe/TiN, Mo/barrier/Si,Mo silicide/Si, Mo/B4C, Mo/BN, Mo/C, Ni/C, Ni/C/Ti, Ni/Ti, Pt/B4C, Pt/C, Ru/B4C, Ru/C, Ru/Si, Sc/Cr, W/BN, W/B4C, W/Si, W silicide/Si, W/SiC,等 |
|---|---|
| 単層膜例： | Ag, Au, Cr, Mo, Ni, Pt, Ru, SiC, Y2O3, 等 |
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