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EUV ミラー/ 軟X線ミラー

EUV mirrors and Soft X-ray mirrors

営業部門 TEL 046-270-2075 (受付9:00~17:00)土日祝日年末年始を除く平日
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各種高品質のEUV(極端紫外線)/X線集光ミラーをご提供しています

EUV(極端紫外線)/X線集光ミラー
  • 各種形状: 平面、凸面、凹面、球面、シリンドリカル, 回転楕円等
  • 各種波長用多層膜ミラー
  • 各種単層膜(金属, 炭化物,酸化物, 等)ミラー
  • 大型多層膜ミラー(~φ300mm)
  • 高耐熱多層膜ミラー

※ 硬X線ミラーもご提供しています。

また、下記のサービスもご提供しています。

新規多層膜受託開発
EUV/X線集光光学系および光学システムの設計・製作

作製例

Mo/Si 多層膜ミラー(Mo/Si multilayer mirror)

  • 波長13~30nm で利用される多層膜ミラーです。
  • EUV 光を反射・集光・分光します。 EUVL、X線望遠鏡、X線顕微鏡、プラズマ診断、高次高調波利用実験、等各種応用にご利用いただいております。
  • 中間層を介在させた耐熱性多層膜ミラー(バリア層付多層膜)も作製致します。
    (H. Takenaka et al, OSA TOPS on EUVL, p.169, Vol.4, 1996)
X線ミラー断面構造例とX線反射の構造図
X線ミラー断面構造例とX線反射の構造図
反射率実測値(直入射角:2度)
反射率実測値(直入射角:2度)
各種Mo/Si 多層膜ミラー
各種Mo/Si 多層膜ミラー
Φ10mm平面ミラー
Φ10mm平面ミラー
Φ100mm凹面鏡
Φ100mm凹面鏡
φ12インチ平面鏡
φ12インチ平面鏡
シュワルツシルト光学系用凹面鏡, 凸面鏡
シュワルツシルト光学系用凹面鏡,凸面鏡
分割凹面鏡
分割凹面鏡

EUV ブロードバンドミラー & EUV ナローバンドミラー(EUV Broadband mirror & EUV narrowband mirror)

  • EUV ブロードバンドミラーとは、通常の多層膜よりも広い波長域で反射する多層膜ミラーで、複数次数にわたる輝線の反射などに用いられます。
  • EUVナローバンドミラーとは、通常の多層膜よりも狭い波長半値幅の多層膜ミラーで、特定の輝線を選び出す分光測定などにご利用頂けます。
反射率実測値(入射角:直入射2度)
反射率実測値(入射角:直入射2度)
EUVブロードバンド回転楕円面多層膜反射鏡例
EUVブロードバンド回転楕円面多層膜反射鏡例。φ100mmZerodure基板上にMo/Siブロードバンド多層膜が形成されています。

EUV グレーディッドミラー(EUV graded mirror)

  • 基板面内で変化する入射角度に対応して、周期長を精密制御した多層膜ミラーです。基板全面での高反射率が可能になります。
  • φ300mm超の曲面基板にグレーデッドミラーを形成いたします。
  • 下記左図は、入射角が直入射0度から直入射角10度程度まで変化する凹面鏡上に形成したEUVグレーディッドMo/Si多層膜の反射率評価例です。基板設計入射角度で測定した結果、反射ピークが非常にそろっていたことを示しています。
反射率実測値例
反射率実測値例。
設計入射角での基板面各点での測定結果。
グレーディッドミラー構造例
グレーディッドミラー構造例。赤色矢印が、光線を表す。基板中心付近では、入射角が直入射角0度で、対応する多層膜周期長は短い。基板端に向かって直入射角が大きくなるにつれ、多層膜周期長は長くなる。

EUV 斜入射ミラー / 全反射ミラー(Grazing-incidence mirror / Total-reflection mirror)

  • EUV 領域における斜入射光学系に用いられる全反射ミラーです。
  • さまざまな基板(平面、凸面、凹面、球面、非球面、シリンドリカル等)に、金属や炭化物,酸化物を形成いたします。
反射率実測値例 (Ru 単層膜コーティング,入射波長13.5nm)
反射率実測値例
(Ru 単層膜コーティング,入射波長13.5nm)
反射率実測値例 (SiC単層膜コーティング,入射角10度)
反射率実測値例
(SiC単層膜コーティング,入射角10度)

 

波長 30nm 用 SiC/Mg 多層膜ミラー(SiC/Mg multilayer mirror)

  • 波長30nm付近用高反射率多層膜です。
    (H. Takenaka et. al., J. Electron Spectrosc. Relat. Phenom., 144-147,(2005)1043-1045)
  • EUV 光を利用した各種応用(宇宙観測、高次高調波を用いた各種実験)に利用されます。
反射率実測値例 (入射角:直入射2度)
反射率実測値例(入射角:直入射2度)
φ1インチ凹面鏡
φ1インチ凹面鏡

波長 6nm 用 Cr/C & CoCr/C 多層膜ミラー(Cr/C & CoCr/C multilayer mirror)

  • 波長6nm付近 で利用される多層膜ミラーです。
  • 顕微光電子分光用集光光学系に用いる多層膜ミラーとして開発したものです。
    (H. Takenaka et al, J. Phys. IV France, p.255, vol.104, 2003)
反射率実測値例 (入射角:直入射2度)
反射率実測値例(入射角:直入射2度)

その他作製実績

様々な種類の多層膜ミラー,全反射ミラーを作製しております。
お気軽にお問い合わせください。

多層膜例: Co/C, CoCr/C, Cr/C, Fe/TiC, Fe/TiN, Mo/barrier/Si,Mo silicide/Si, Mo/B4C, Mo/BN, Mo/C, Ni/C, Ni/C/Ti, Ni/Ti, Pt/B4C, Pt/C, Ru/B4C, Ru/C, Ru/Si, Sc/Cr, W/BN, W/B4C, W/Si, W silicide/Si, W/SiC,等
単層膜例: Ag, Au, Cr, Mo, Ni, Pt, Ru, SiC, Y2O3, 等

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