特徴
回折格子SEM像
材料吸収の大きなVUV領域やEUV領域、軟X線領域でも高い回折効率が得られる、ステンシル構造の透過型回折光子をご提供します。
高次高調波の分光実験、EUV領域での検査・評価用素子、X線プラズマ分光などにお使いいただけます。標準の一次元格子のほかお客様ご要望に応じた特注品も提供いたします。
高次高調波の分光実験、EUV領域での検査・評価用素子、X線プラズマ分光などにお使いいただけます。標準の一次元格子のほかお客様ご要望に応じた特注品も提供いたします。
設計例
Ta/SiN 2層膜型格子の回折効率
SiN型格子の回折効率
標準品仕様
| 構造 | Ta/SiN 2層型 | SiN型 |
|---|---|---|
| 回折格子サイズ | 2 mm x 2 mm | |
| 刻線数 | 100 line/mm - 2400 line/mm | |
| 梁 | 500 nm幅, 50 µmピッチ (格子と垂直方向) | |
| 回折格子材料 | Ta (100 nm) / SiN (100 nm) | SiN (100 nm) |
| チップ | 10 mm x 10 mm x 0.625 mm厚、Si | |
透過型回折格子の構成。(a)Siフレーム、(b)透過型回折格子
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