特徴
EUVビームスプリッタ外観写真
EUVハーフミラーとも呼ばれるEUVビームスプリッタを用いることで、可視光や紫外光と同様にEUV光を透過性分と反射成分とに分割することができます。自立型のMo/Si多層膜からなるこの光学素子は、干渉計の構築やビームモニタとして利用されています。ご要望に応じて、波長13.5 nm域で透過/透過比や入射角などをカスタマイズし提供します。
設計例
波長13.5 nm, s偏光用ビームスプリッタの反射・透過特性
入射角45度・1:1分割
入射角45度・高透過率
入射角45度・高反射率
入射角6度・1:1分割
標準仕様
ご要望に応じた透過/反射比、入射角、中心波長、サイズにカスタマイズしてご提供いたします。金属製ホルダーにマウントした状態での提供もいたします。
| 標準仕様 | |
|---|---|
| ビームスプリッター部 | 7 x 7 mm, 自立型Mo/Si多層膜 |
| フレーム部 | 14 mm x 14 mm, 0.5 mm厚Si基板 |
| 入射角 | 45度, 6度 |
| 中心波長 | 13.5 nm |
| 反射・透過特性 | 1:1, 高反射, 高透過 |
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