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EUVビームスプリッタ

任意の透過率・反射率を持つEUVビームスプリッタを提供いたします。

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特徴

ビームスプリッタ画像:window size: 10mm x 10mm
EUVビームスプリッタ外観写真
EUVハーフミラーとも呼ばれるEUVビームスプリッタを用いることで、可視光や紫外光と同様にEUV光を透過性分と反射成分とに分割することができます。自立型のMo/Si多層膜からなるこの光学素子は、干渉計の構築やビームモニタとして利用されています。ご要望に応じて、波長13.5 nm域で透過/透過比や入射角などをカスタマイズし提供します。

設計例

波長13.5 nm, s偏光用ビームスプリッタの反射・透過特性

グラフ
      入射角45度・1:1分割
 
グラフ
      入射角45度・高透過率
 
グラフ
      入射角45度・高反射率
グラフ
      入射角6度・1:1分割

標準仕様

ご要望に応じた透過/反射比、入射角、中心波長、サイズにカスタマイズしてご提供いたします。金属製ホルダーにマウントした状態での提供もいたします。

  標準仕様
ビームスプリッター部 7 x 7 mm, 自立型Mo/Si多層膜
フレーム部 14 mm x 14 mm, 0.5 mm厚Si基板
入射角 45度, 6度
中心波長 13.5 nm
反射・透過特性 1:1, 高反射, 高透過

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