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EUVトロイダルミラー

EUV, VUV, 軟X線領域向け 高精度トロイダルミラーをご提供します

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特徴

画像
トロイダルミラー, B4Cコーティング
斜入射のトロイダルミラーは、アト秒科学など広帯域な高次高調波の集光を必要する実験系で用いられています。 NTT-ATのトロイダルミラーはご用途に合わせた形状と多様なコーティングのご提案により多くの大学や研究機関の研究者にご利用いただいております。
直入射のトロイダルミラーは球面鏡での収差が課題となるような実験系でお使いいただけます。 ご使用条件に応じて高反射率やブロードバンド、あるいはナローバンドなEUV多層膜コーティングをお選びいただけます。

製作例

制作例画像
長さ200 mm×幅30 mm, Auコーティング,
斜入射角3度
制作例画像
長さ140 mm×幅30 mm, Ptコーティング,
斜入射角2度

コーティング例

グラフ
      Mo/Si多層膜コーティング、入射角45度
 
グラフ
      Au単層膜コーティング、斜入射角3度
 

代表的な仕様

ご要望に応じた基板形状設計、コーティング設計をいたします。

  代表的な仕様
最大ミラー長 200 mm
最小曲率半径 10 mm
基板形状精度 λ/4 PV @633 nm
多層膜コーティング材料 Mo/Si, Zr/AlSi, SiC/Mg
単層膜コーティング材料 Au, Pt, Ru, Ni, B4C, SiC, C

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