EUV単層膜ミラー設計例

Auミラー

Niミラー

Ruミラー

SiCミラー

B₄Cミラー

標準品仕様

標準型式	EUVSM-(a)-(b)(c)
(a)コーティング材料	Au, Ni, Ru, B4C, SiC
(b)基板サイズ	1025: 直径1インチ×厚み0.25インチ 0525: 直径0.5インチ×厚み0.25インチ
(c)基板タイプ	F: 平面, C: 凹面（曲率半径100 mm - 3000 mm)

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