SiCメンブレン・SiNメンブレン

X線分析、電子線分析（SEM,TEM）用の標準試料ホルダーとして用いられるSiCあるいはSiNの薄膜メンブレンです。

以下のように、用途に合わせたカスタマイズが可能です。 

• 薄膜ターゲットまたはビームスプリッターとして使用するための金属薄膜形成。
• ビーム成型素子として用いるためのスリット/ピンホール形成。 
• 軟X線あるいは電子ビーム透過素子として用いるためのサブ50 nm厚メンブレン（SiN）

標準品仕様

	SiC	SiN（絶縁性）
材質	アモルファスまたは多結晶	アモルファスSiN
厚さ	100 nm ～ 2 μm	50 nm ～ 2 μm
窓サイズ	0.1 mm ～ 10 mm 角（膜厚によります）
切り出しチップサイズ	2.1 mm ～ 20 mm 角
フレーム厚	0.2 mm ～ 0.625mm
基板	直径 4インチ　Si基板
オプション	金属コーティング、スリット/ピンホール形成

用途

• X線、電子線、EUV分析用サンプルホルダー
• 化学・生物分析用液体セル窓材
• 真空窓
• 透過型X線光学素子用支持材

製作例