SiCメンブレン・SiNメンブレン ＜カタログ製品＞

• 流量・熱等の高感度センサやMEMS
• SEM、TEM用サンプルフォルダー

SiCメンブレン・SiNメンブレン

仕様

膜 種	SiC	SiN（絶縁性）
ベースプレート材料	3又は4インチSi　（ご希望のサイズに切り出し対応いたします。）
膜 厚	数100nm～数μm
膜応力	ご希望の応力に制御可能

*少量でも対応いたします。お気軽にお問合せください。

製作例

SiNメンブレン

 

SiC,SiN メンブレンチップ＜カタログ製品＞

• 低応力
• 低コスト（SiN）
• 耐久性（SiC）
• 低価格・短納期

仕様

Model	Chip Size（mm）	Membrane Material	Membrane Thickness（nm）	Membrane Size（mm）	Frame Thickness（mm）
SiN メンブレン
MEM-N03001/7.5M	7.5 x 7.5	SiN	100	3 x 3	0.625
MEM-N02001/10M	10 x 10	SiN	100	2 x 2	0.625
MEM-N03002/7.5M	7.5 x 7.5	SiN	200	3 x 3	0.625
MEM-N03002/10M	10 x 10	SiN	200	3 x 3	0.625
MEM-N020027/10M	10 x 10	SiN	270	2 x 2	0.625
MEM-N0302/10M	10 x 10	SiN	2,000	3 x 3	0.625
MEM-N0301/10M	10 x 10	SiN	1,000	3 x 3	0.625
SiC メンブレン
MEM-C03003/10M	10 x 10	SiC	300	3 x 3	0.625
MEM-C0301/10M	10 x 10	SiC	1,000	3 x 3	0.625

※記載された仕様等は製品改良の為お断りなく変更する事がありますのでご了承下さい。

 

メンブレンの特徴と適用事例

弊社メンブレンは精緻な応力制御により、機械的強度が強く、非常に平滑な自立膜を実現しております。お客様のニーズにより、材質はSiC/SiN（*1）から選択でき、且つ幅広い膜厚/サイズにも対応が可能です。

*1　チャージアップや静電気を嫌うお客様には比較的導電性のあるSiCメンブレンを、またメンブレン上に金属配線を形成することを想定しているようなお客様には絶縁性の高いSiNメンブレンをお薦めします。

メンブレンの利用方法は様々ですが、最近の適用事例をご紹介します。

サンプルホルダとして　Three-dimensional　membrane cell

SiN/SiCメンブレンは、耐薬品性（耐酸、耐アルカリ、耐有機溶剤）が高く、各種測定光源（X線など）への耐性も高くなっております。また、組成がSi、N、Cに限定されることから、微量成分分析などの試料台や容器としてご利用いただいております。

真空、ヘリウム、大気隔壁窓として　Vacuum partition membrane cell

SiN/SiCメンブレンの膜厚は、最大でも数ミクロンと非常に薄いが静水圧強度を0.2MPa（２気圧）程度まで高めることが可能です。また、可視光域からX線域まで幅広い波長域において透過率が良好である為、ビームラインなどからの光を取出し窓（真空隔壁窓）としてご利用いただいております。