- 流量・熱等の高感度センサやMEMS
- SEM、TEM用サンプルフォルダー
SiCメンブレン・SiNメンブレン
仕様
| 膜 種 | SiC | SiN（絶縁性） |
|---|---|---|
| ベースプレート材料 | 4インチSi （ご希望のサイズに切り出し対応いたします。） | |
| 膜 厚 | 数100nm～数μm | |
*少量でも対応いたします。お気軽にお問合せください。
製作例
SiNメンブレン
SiCメンブレン・SiNメンブレン
| 膜 種 | SiC | SiN（絶縁性） |
|---|---|---|
| ベースプレート材料 | 4インチSi （ご希望のサイズに切り出し対応いたします。） | |
| 膜 厚 | 数100nm～数μm | |
*少量でも対応いたします。お気軽にお問合せください。
SiNメンブレン
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