CE・UKCAマーキングに対応した5相ステッピングモータ駆動ガラススケール内蔵の高分解能フィードバックステージです。光学式ガラススケールを内蔵し、高い位置再現性と高分解能を実現しました。
本製品はシグマ光機社製です。
本ホームページに記載の内容は、予告なしに変更する場合があります。
高分解能フィードバックステージシステムの特徴
- ボールねじ駆動のためピエゾステージよりも移動量が長く確保でき、さらに豊富な移動量とテーブルサイズから選定できます。
- ユーザビリティー向上の観点からAutoconfigによるプラグインを実現しました。
- フィードバックステージ(NFSシリーズ)対応コントローラをご用意しています。
移動量を選定するポイント
下記以外の移動量が必要な場合には、お問合せください。
| 移動量 | テーブル面サイズ | 選定のポイント |
|---|---|---|
| 20mm | 75×60mm | 省スペースタイプ、移動量が短くても十分な場合に使用します。 |
| 40mm | 110×60mm | 最も安定性があり、設置スペースに余裕がある場合にはおすすめのステージです。 |
| 50mm | 100×100mm、120×120mm | 長い距離を高分解能に位置決めしたい場合に使用します。 |
| 100mm | 175×100mm、175×120mm | 長い距離を高分解能に位置決めしたい場合に使用します。 |
| 200mm | 230×180mm | 長い距離を高分解能に位置決めしたい場合に使用します。分解能10nm、50nmをラインアップしています。 |
| 300mm | 330×180mm | 長い距離を高分解能に位置決めしたい場合に使用します。分解能10nm、50nmをラインアップしています。 |
フィードバックステージ NFSシリーズ ラインアップ
リンクより各分解能のシリーズについて、詳細をご確認いただけます。
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適用例
- PLCと光ファイバアレイの接続・光デバイスと光ファイバの接続といった、精密に位置決めを行う接続装置の位置あわせ機構部分
- 顕微鏡視野にある複数の細胞を一定の時間間隔で繰り返し観察する、高精度な繰り返し位置精度が求められるような顕微鏡ステージ
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