光学式リニアスケールをステージ内部に内蔵し、シグマ光機社独自のフィードバック回路を搭載した高分解能フィードバックステージシステムです。
本製品はシグマ光機社製です。
本ホームページに記載の内容は、予告なしに変更する場合があります。
高分解能フィードバックステージシステムの特徴
リニアスケールを内蔵した電動自動ステージとクローズドループ制御機能を搭載したコントローラの組み合わせにより、精度の高い位置決め再現性を実現している点と位置決め後、自己位置を保持する機構が備わっております。
各種、精密位置決めが必要なアプリケーションに応用可能であり、大気中に加え、真空装置内部でも使用できるタイプもご用意しています。
適用例
PLCと光ファイバアレイの接続、光デバイスと光ファイバの接続といった精密に位置決めを行う接続装置の位置あわせ機構部分顕微鏡視野にある複数の細胞を一定の時間間隔で繰り返し観察する高精度な繰り返し位置精度が求められるような顕微鏡ステージ
ステージ分解能
| 1nm | ステッピングモータで1nm分解能の位置決めが可能となったハイエンドシリーズ |
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| 5nm | 高分解能とスピードを両立した位置決め装置 |
| 10nm | 高分解能で豊富なラインナップの10nm分解能の位置決め装置 |
| Subμ | ロングストロークを用意したエントリーモデルの位置決め装置 |
ステージテーブルの大きさ
60mm□、80mm□、120mm□、160mm□、120mm×170mm（*）から選べます。
電動自動ステージ単体のほか、測定システム（対向6軸制御など）としても承ります。
高分解能 1nmフィードバックシステム
ステッピングモータで1nm分解能の位置決めが可能となったハイエンドシリーズです。
特徴
1nm分解能の位置決めを達成したハイエンドフィードバックステージシステムです。駆動部分にピエゾアクチュエータとステッピングモータを使 用している粗微動構造ではなく、新たにハーモニックドライブを使用したステッピングモータ単体での送り機構により、粗微動構造では実現が難しかったスト ローク（20mm/40mm/50mm）全域を1nmステップにて送ることが可能になりました。
ラインナップ ～高分解能 1nmフィードバックシステムシリーズ～
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高分解能 5nmフィードバックシステム
高分解能とスピードを両立した位置決め装置です。
ボールねじのみで5nmの分解能を実現し、 5nm分解能ステップ位置決めがストローク内全域で可能になりました。
特徴
減速機構を必要としないシンプルな構成で5nm分解能の位置決めが可能で、微細な5nmステップ送りと移動速度（5mm/s）を両立したシステムです。コントローラは2軸制御が可能でステージを組み合わせてXY軸システムを構築することができます。
ラインナップ ～高分解能 5nmフィードバックシステムシリーズ～
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高分解能 10nmフィードバックシステム
高分解能で豊富なラインナップの10nm分解能の位置決め装置です。
特徴
10nm分解能の位置決め装置が容易に扱えます。ステージラインナップはストローク20mm～150mmまでの直動ステージ、その他回転ス テージとZ軸ステージも用意しています。10nmという高い分解能を選択しながらロングストロークや専用ステージも選べることで、ユーティリティとユーザ ビリティを両立した製品となっています。
ラインナップ ～高分解能 10nmフィードバックシステムシリーズ～
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Subμ（サブミクロン）フィードバックシステム
ロングストロークを用意したエントリーモデルの位置決め装置です。
特徴
高分解能のフィードバックステージシステムです。 50nm/100nm分解能をコントローラにより選択することが可能で、直動ステージだけではなく、回転やZ軸ステージをラインナップし、組合せにより 様々なシステムを構築することができます。より扱い安く、そしてフィードバック可能なシステムです。
ラインナップ ～Subμ（サブミクロン）フィードバックシステムシリーズ～
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オプション一覧
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