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先端的微細構造形成に必要な、NTT-ATの半導体プロセス装置
加圧減圧対応卓上型クリーンオーブン 自動加熱加圧処理装置
圧力制御機能付き
半導体やLED等の実装(封止)プロセスに効果を発揮。処理中の圧力調整が自動的に行える機能を追加。 液晶・タッチパネル分野、半導体分野での気泡除去に。各種機能・サイズをラインナップ。

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