先端的微細構造形成に必要な、NTT-ATの半導体プロセス装置
| 加圧減圧対応卓上型クリーンオーブン | 自動加熱加圧処理装置 | 小型超臨界乾燥装置 |
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| 半導体やLED等の実装（封止）プロセスに効果を発揮。処理中の圧力調整が自動的に行える機能を追加。 | 液晶・タッチパネル分野、半導体分野での気泡除去に。各種機能・サイズをラインナップ。 | 微細構造体の無破壊乾燥 |
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