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材料評価で問題があればなんでもご相談ください。

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私たちNTTアドンバンステクノロジ(NTT-AT)の分析サービスは、NTT研究所で長年培ってきた材料分析のノウハウを持ち、特に半導体や燃料電池関連、クリーンルーム環境評価、通信インフラ設備関連の分析を得意としています。
目的に応じた多彩なサービスラインナップで、お客様の研究開発をサポートします。

分析手法の検出感度とサイズ(イメージ)

TEM sem aes sims epma txrf IC ICP-MS xps
 

形態観察

デバイス、材料の形態・構造、組成評価
 

分析手法から探す

分析手法 得られる情報 適用例 面分解能
TEM
透過電子顕微鏡
断面構造 半導体素子の断面観察、FFT 0.2nm
FIB-SEM 内在する空洞や欠陥等の情報 多孔質セラミックの欠陥解析  
FE-TEM
電子顕微鏡
極性 GaNの極性判定  
SEM
走査電子顕微鏡
表面形状観察 部品欠陥部の詳細形状観察 2nm
AFM
原子間力顕微鏡
表面微小凹凸観察 シリコンのマイクロラフネス測定 数nm

 

表面分析

どのような分析でも測定条件や前処理を含めた「ノウハウ」が必要です。弊社ではお客様の分析の目的、試料の状態、解像度や検出感度など種々の条件にあわせ最適な分析手法をご提案し、本来の試料情報を反映した解析を行うことに強みがあります。
 

分析手法から探す

分析手法 得られる情報 適用例 分析元素と
検出限度濃度
深さ分解能と
面分解能
SIMS
二次イオン質量分析
不純物の濃度を高感度に得たい ドーパントの深さ分布 H~U
ppb~ppm
数~数10nm
1~数10μm
XPS
X線光電子分光分析
表面組成や化学状態 表面の酸化状態、表面汚染 Li~U
0.1~1%
>2nm
>30μm
AES
オージェ電子分光分析
構造の深さ情報
微小部の元素分析
薄膜の構造、異物の定性 Li~U
0.1~1%
>2nm
>15nm
EPMA
X線マイクロ分析
組成分析 固体試料中の面内元素分布 Be-U
~0.1%
~1μm
~1μm

 

化学分析

主な保有装置

 

分析手法から探す

分析手法 得られる情報 適用例 分析元素 検出限度濃度
ICP-MS
誘導結合プラズマ質量分析
高感度元素分析
・溶液の分析
・破壊分析
Siウェハ上の微量金属、環境中の微量金属・純水中の不純物分析 ハロゲン、不活性ガス、H,C,N,Oを除く元素 ppt~
(測定対象による)
IC
イオンクロマトグラフ分析
高感度な溶液の分析
イオンの定性、定量分析
クリーンルーム雰囲気調査 陰イオン、陽イオン、有機酸イオン ppt~ppm
(測定対象による)
TXRF
全反射蛍光X線分析
高感度元素分析
・非破壊
・非接触
ウェハ表面の汚染
Si基板以外の化合物半導体(サファイア、SiC、GaNなど)
Na~U 1010atoms/cm2
GC-MS
ガスクロマトグラフ質量分析
有機化合物の定性・定量、
構造解析
有機化合物の同定、構造決定、CR中の有機物分析 ハロゲン、不活性ガス、H,C,N,Oを除く元素 ppb~
(測定対象による)
XRF
蛍光X線分析
元素分析 薄膜・粉体・バルク組成定性分析 B~U ~0.01%
ICP-AES
ICP発光分析
微量元素分析、
多元素分析
各種材料、薄膜の組成分析 ハロゲン、不活性ガス、H,C,N,Oを除く元素 ppb~
(測定対象による)

 

 

試験特性評価

光通信材料の光学特性や材料のガス透過性、粘弾性、熱物性・粉体特性の評価・測定を行っております


 

分析の流れ

お問い合わせ 問題の提起
材料評価で問題があればなんでもご相談ください! お問合せフォーム、お電話にてお気軽にご相談ください。 差し支えない範囲で試料名、試料形状、構成等を教えてください。
アイディアの提出
お客様からの課題、試料等に基づいて、最適な分析手法をご提案します。 ご要望に応じて守秘協定を締結させていただきます。
アイディアの検討
お客様の材料評価への要望(ニーズ)は単なる素材の分析にだけではなく、新材料の開発から工程の信頼性評価までと広範囲にわたっています。

NTT-ATの材料分析センタでは、単なる分析データの提供に留まらずお客様の問題提起を基に、共に検討させていただきながら最適の手法による問題解決法を提案いたします。

見積&計画 プロポーザル
納期、料金、分析までのスケジュールなどをお見積いたします。 事前のお試しが必要な場合は、あらかじめ、お試し分析を行うこともあります。
契約
お見積内容にご不明な点がございましたらお気軽に営業担当まで一報ください。 ご発注の後、分析を実施させていただきます。
結果報告
分析実施の後、分析結果レポートを納品書と受領書と ともに納品させていただきます。 ご要望に応じて、納品前に結果を電子メールにて速報いたします。
お支払いについて

ロケーション情報

NTT厚木研究開発センタ内(地図はこちら
所在地 〒243-0124 神奈川県厚木市森の里若宮3-1
最寄駅 本厚木駅 / 愛甲石田駅(小田急線)
その他のロケーション(本社等)情報はこちら

主な公的資格

  • 計量証明事業所:振動加速度レベル
神奈川県計量検定所 第33号
  • 作業環境測定指定機関登録
神奈川県労働基準局登録 14-71

その他の認証・公的資格はこちら

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サービス一覧

材料分析サービス

  • 形態観察
    デバイスや材料の形態・構造、および結晶構造解析を行っております
  • 試験特性評価
    光通信材料の光学特性や、タッチパネル、ハンディ端末の指紋汚れの定量評価等

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