特徴
EUVダイクロイックミラー
高次高調波発生によって発生したEUV光を効率的に利用にするためには、EUV光と共軸で伝搬する高強度のポンプ光の分離が必要です。
NTT-AT社のEUVダイクロイックミラーは、薄膜フィルタやブリュースター角型のビームセパレータと比較して高い損傷閾値で、広帯域のEUV光を反射し、可視あるいは近赤外のポンプ光の反射を防ぎます。
800 nm反射防止用の標準品の他、ご希望の波長、ミラーサイズ、入射角などに応じたカスタム品も提供いたします。また、ビーム結合用の両面コート品も提供いたします。
NTT-AT社のEUVダイクロイックミラーは、薄膜フィルタやブリュースター角型のビームセパレータと比較して高い損傷閾値で、広帯域のEUV光を反射し、可視あるいは近赤外のポンプ光の反射を防ぎます。
800 nm反射防止用の標準品の他、ご希望の波長、ミラーサイズ、入射角などに応じたカスタム品も提供いたします。また、ビーム結合用の両面コート品も提供いたします。
標準品
DM20/800-2002のEUV反射プロファイル
DM30/800-2002の反射プロファイル
標準品仕様は以下の通りです。
| DM-20/800-2002 | DM-30/800-2002 | |
|---|---|---|
| 斜入射角 | 12度 | |
| 偏光 | p偏光 | |
| 反射防止 | <2% @ 800 nm +/- 50 nm | |
| EUV反射率 | 60% @ 20 nm | 40% @ 30 nm |
| 基板種 |
石英
|
|
| サイズ | 直径50.8 mm, 厚み5.08 mm | |
| 裏面 | 砂面仕上げ | |
特注品設計例
波長3 nm用ダイクロイックミラー(斜入射角3度)。反射防止：<30% @1.5 μm。
ご要望に応じたコーティング設計をいたします。
| 代表的な特注仕様 | |
|---|---|
| 最大基板長 | 300 mm |
|
高反射帯域
|
3 nm - 120 nm |
| 反射防止波長 | 400 nm, 800 nm, 1030 nm, 1.5 μm |
| 偏光 |
s偏光, p偏光
|
| 裏面 | コーティング付き, 砂面仕上げ |
資料ダウンロード
| High Contrast and High Damage threshold EUV/Visible Dichroic Mirror（英語・ white paper） | 348KB | ダウンロード |
|---|
お問い合わせください
お見積りのご相談など、お気軽にお問い合わせください。
閉じる