Ru/B4C多層膜ミラー（150 eV - 100 eV)
150 eV用
反射率33%, バンド幅3.1 eV
反射率31%, バンド幅1.9 eV
120 eV用
反射率40%, バンド幅2.2 eV
反射率40%, バンド幅4.5 eV
100 eV用
反射率41%, バンド幅3.3 eV
反射率41%, バンド幅6.6 eV
Mo/Si多層膜ミラー（95 eV - 70 eV)
90 eV用
反射率68%, バンド幅3.5 eV
反射率67%, バンド幅6.1 eV
80 eV用
反射率61%, バンド幅3.1 eV
反射率60%, バンド幅7.7 eV
Zr/AlSi多層膜ミラー（70 eV - 50 eV)
70 eV用
反射率59%, バンド幅2.8 eV
反射率59%, バンド幅4.4 eV
60 eV用
反射率49%, バンド幅3.3 eV
反射率49%, バンド幅6.3 eV
50 eV用
反射率32%, バンド幅4.9 eV
反射率32%, バンド幅9.6 eV
SiC/Mg多層膜ミラー（45 eV - 20 eV)
40 eV用
反射率48%, バンド幅2.5 eV
反射率48%, バンド幅3.0 eV
30 eV用
反射率44%, バンド幅3.1 eV
反射率45%, バンド幅3.8 eV
20 eV用
反射率41%, バンド幅3.1 eV
反射率46%
標準品仕様
| 標準型式 | EUVML-(a)-(b)-(c)-(d)-(e)(f) |
|---|---|
| (a)多層膜材料 | Ru/B4C, Mo/Si, Zr/AlSi, SiC/Mg |
| (b)反射タイプ | H: 高反射率, N: ナローバンド, B: ブロードバンド |
| (c)入射角 | 0度 - 60度 |
| (d)中心エネルギー | 20 eV - 150 eV (60 nm - 8 nm) |
| (b)基板サイズ |
1025: 直径1インチ×厚み0.25インチ 0525: 直径0.5インチ×厚み0.25インチ |
| (c)基板タイプ | F: 平面, C: 凹面（曲率半径100 mm - 3000 mm) |
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