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X線回折格子

側壁粗さが小さくX線照射耐性に優れた、X線タルボイメージング用位相格子・吸収格子です。

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特徴

NTT-AT社製のX線タルボイメージング用位相格子と吸収格子は、高アスペクトSiエッチング技術とAuメッキ技術をもとに作製されており、従来のフォトレジスト格子と比較して十分に高いX線照射耐性を実現します。 また、デブリの発生による測定環境の悪化を低減いたします。
  • 位相格子:低ラフネス・高垂直性を持つSi構造体
  • 吸収格子:低ラフネス・高垂直性を持つSi構造に埋め込まれたAuメッキ吸収体

標準品仕様

  吸収格子 位相格子
材料 吸収部:Au, 透過部:Si 位相変調部:Si
メンブレン Si、厚さ 50 μm Si、厚さ 50 μm
ピッチ/高さ 3 μm / 10 μm 2 μm / 20 μm
最大領域 10 mm 角 40 mm 角
※ 製品はカスタマイズ可能です。

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