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LEDの断面SEM観察とEDS元素マッピング

SEM-EDS

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発光ダイオード(LED:Light Emitting Diode)の特性はクラッド層や活性層など半導体部分のミクロな構造に影響を受け、信頼性はハンダや多層電極部などマクロな構造に影響をうけます。通信用LEDの評価を得意とするNTT-ATでは、広範囲な断面を精緻に前処理することのできる方法を採用し、LEDのミクロからマクロまでを一度に観察することが可能となりました。

LED断面構造観察事例

LEDについてクロスセッションポリッシャ(CP)で断面加工を行い、走査型電子顕微鏡による構造観察、元素分析ならびに元素分布(カラーマッピング)について測定した例です。

LEDのクラッド層や活性層などの半導体部分から、ハンダや多層配線部までをミクロからマクロまでを観察することが可能です。開発から製造まであらゆる場面での評価に適用できます。

LEDの断面構造観察


広い範囲について観察に適した断面が得られた事で、LEDの「はんだ」および「めっき」のマクロな元素分布や、多層構造の反射膜の様な微細な元素分布について評価する事ができました。 

LEDによる低消費電力社会を実現する開発・製造のお手伝いをNTT-ATは分析サービスによって行います。

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