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n-InGaAsP/InP 周期構造

超高分解能SEM観察

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n-InGaAsP/InP 周期構造を超高分解能SEMで観察した例です。

TEMによる観察では、試料処理に時間と労力がかかりますが、へき開した断面を軽くエッチングしただけの試料で下のような像を得ることができました。

n-InGaAsP/InP 周期構造


TEMの分解能には及ばないものの、超高分解能SEMを用いれば、素早く簡単にこのような像を得ることができます。また、この写真は深さ7μm以上に渡る視野で均一なコントラストが得られております。1視野でこのように広い視野を観察できるのもSEMの特徴です。 

 

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