SIMS、AES、XPS、XRF分析などの深さ方向分解能評価・距離測定・感度評価に用いられる多層膜標準試料です。
ご希望の材料組み合わせ、膜厚、層数の標準試料をご提供させていただきます。
作製例
Si/BN多層膜試料
- SIMS分析などの深さ方向分析に利用される積層膜試料です。
- 一定周期の多層膜試料の他に、非周期的な多層膜試料にもご対応致します。
- 極薄BN層(~0.01nm)の形成も可能です。
![TEMによる断面構造評価例](https://keytech.ntt-at.co.jp/nano/images/p3003.jpg)
TEMによる断面構造評価例
![Si/BN多層膜構造模式図](https://keytech.ntt-at.co.jp/nano/images/p3003.gif)
Si/BN多層膜構造模式図
![SIMS深さ方向分析例](https://keytech.ntt-at.co.jp/nano/images/p3003_1.jpg)
SIMS深さ方向分析例
![AFMによる表面粗さ測定例](https://keytech.ntt-at.co.jp/nano/images/p3003_2.jpg)
AFMによる表面粗さ測定例
Si/Mo多層膜試料
![Si/Mo多層膜試料](https://keytech.ntt-at.co.jp/nano/images/p3003_3.jpg)
Si/Mo多層膜試料
![Si/Mo多層膜構造模式図](https://keytech.ntt-at.co.jp/nano/images/p3003_2.gif)
Si/Mo多層膜構造模式図
![AES測定](https://keytech.ntt-at.co.jp/nano/images/p3003_3.gif)
AES測定
![AES分析評価例](https://keytech.ntt-at.co.jp/nano/images/p3003_4.gif)
AES分析評価例
各種積層試料
- 各種材料の積層膜にご対応いたします。
- 下図は、種類の異なる4種類の材料を積層した試料例です。
![TEMによる断面構造評価例と模式図](https://keytech.ntt-at.co.jp/nano/images/p3003_5.jpg)
![TEMによる断面構造評価例と模式図](https://keytech.ntt-at.co.jp/nano/images/p3003_5.gif)
TEMによる断面構造評価例と模式図