測長用スケール

• 微細パタン評価に不可欠な走査プローブ顕微鏡等の長さや角度の較正に最適
• 低価格・短納期　

※ ピッチ100nm以下の極微細パタンについても特注で対応いたします。

特徴・仕様

	垂直タイプ（AS100P-D）	傾斜タイプ（AS200P-A）
用途	長さ校正、プローブ形状評価	角度校正
特徴	Si（110）基板で異方性エッチングを利用のため、パタン形状が垂直で正確 直行度が高いため正確なプローブ形状測定が可能	Si（100）基板で異方性エッチングを利用のため、パタン傾斜角度が54.7度で正確 傾斜角度が54.7度と正確なため装置再現性確認に最適
傾斜角	90度	54.74度
パタン種類	1：1L&S　(パタン領域外は凹)	400 nmL&S 400 nmグリット 200 nmL&S 100 nmL&S 以上4種
ライン(凸部)幅	50～250 nm	100～400 nm
パタン深さ	125 nm±20％	100～200 nm（出来合い）
パタン領域	200μm×200μm	184μm×184μm×4（種）
基板	Si 10mm×10mm×0.525mmt	Si 10mm×10mm×0.525mmt

*低価格・短納期で提供いたします。お気軽にお問合せ下さい。

垂直タイプ（AS100P-D）

傾斜タイプ（AS200P-A）

AFM観察像 （単位：横方向：μm,縦方向：nm）

特注品の例

TEM観察像