超高真空中で加熱することにより、シリコン表面の原子レベルの高さを有するステップの集合状態を制御できることが知られています。Si（111）面の場合、原子ステップの高さは結晶学的に0.31nmと決まります。
本試料を用いることで、お使いの原子間力顕微鏡（AFM：atomic force microscope）のÅオーダでの高さ方向の校正、装置性能の評価を行うことができます。
試料の大きさは10mm×10mmで、どのようなAFM装置でも使用いただけます。試料中央部はパッケージ等に接触しないようにお届けします。
湿度、浮遊汚染物等に注意して保管いただければ、6ヶ月以上は利用いただけます。
利用法
- 装置の高さ校正
- 装置性能のチェック
本試料と同様な表面構造を用いた高さ校正方法については、J.Vac.Sci. & Technol.,A14,1228（1996）を参考にして下さい。具体的な校正方法は装置購入先にご確認下さい。
左図のような表面形状が観察され、各々のステップ高さが0.31nmとなっています。
ステップの交差点ができるだけ少なく、加熱処理時にSiCパーティクルができるだけ発生しないように制御して作製されています。
ステップの交差点ができるだけ少なく、加熱処理時にSiCパーティクルができるだけ発生しないように制御して作製されています。
AFM（原子間力顕微鏡）高さ校正用標準試料 仕様等
| 品 名： |
原子ステップ高さを有するAFM高さ校正用標準試料 商品番号：S-AFM-1 |
|---|---|
| 試 料： | シリコン（111）基板 |
| 試料サイズ： |
10mm×10mm×（基板厚さ） ご希望の試料サイズがありましたら、別途ご相談下さい。 |
| 有効面積： | 中央部6mm×6mm |
| 添付資料： | AFM観察結果（1μm×1μm） |
| 観察保証期間： |
納品後6ヶ月 ただし、乾燥不活性ガスまたは乾燥剤により湿度管理されたデシケータ等に保管して下さい。また、測定中に付着したごみは、乾燥した不活性ガス（窒素、等）でブローして除去することをおすすめします。AFM測定条件の設定により表面構造を劣化させたり、有機薬液・水等で洗浄した場合の変化は保証しかねます。 |
| 定 価： | 25万円 |
| 納 期： | 1～2か月 |
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