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微細ビーム幅計測用スケール nm-scales for nm-beam size measurement

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  • 電子ビーム、イオンビーム、X線の微細なビームサイズの測定を可能にしました。
  • nm単位でビーム幅が計測できます。
  • 1次元、2次元計測用がございます。

 

(a)スケールの構造と (b)透過した電子線強度
(a)スケールの構造と
(b)透過した電子線強度
電子ムービーサイズの測定例f
引用文献:
K.Kurihara,K.Iwadate,H.Namatsu,
M.Nagase,H.Takenaka and K.Murase,
"An Electron Beam Nanolithography System and its Application to Si Nanofabrication",
Jpn.J.Appl.Phys.,34(1995)6940

 

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