EUV・X線光学部品

VUV、EUV、軟X線領域における高効率・広帯域なフラットフィールド分光器、XAFS装置、コンパクトなX線CCDカメラなど、これまでにない分光・光検出ソリューションを提供いたします。

極端紫外線（EUV）やX線の集光や結像用光学システムを設計・作製します。制作例をご覧ください。

高品質のEUV(極端紫外線）/ X線集光ミラーをご提供しています 。制作例多数ご紹介しております。

EUV, VUV, 軟X線領域向け 高精度トロイダルミラーをご提供します。制作例・設計例をご覧ください。

EUV光を可視光や近赤外光から分離するダイクロイックミラーを提供いたします。

任意の透過率・反射率を持つEUVビームスプリッタを提供いたします。EUVハーフミラーとも呼ばれるEUVビームスプリッタを用いることで、可視光や紫外光と同様にEUV光を透過性分と反射成分とに分割することができます。

VUV, EUV, 軟X線領域用のステンシル構造回折格子を提供します。標準品の他、特注品も提供可能です。

紫外光を長焦点で集光可能なレンズをご提供します。

EUV領域用・軟X線領域用の反射型偏光子を提供します。設計例などご覧ください。

X線顕微鏡用高解像性チャートです。NTT-ATのX線チャートは、世界中の放射光施設などで解像度評価にお使いいただいています。EUV領域用の反射型チャートもご提供いたします。

SiCメンブレンとTa吸収体からなる高照射耐性X線フレネルゾーンプレートを提供します。制作例を掲載しています。

硬X線用の多層膜ミラー・単層膜ミラーを提供いたします。制作例・設計例を掲載しております。

軟X線を透過する、SiN,SiCメンブレンと極薄貴金属構造です。金属膜は観察試料からの検出X線に合わせて選択いただけます。

NTT-AT社製のX線タルボイメージング用位相格子と吸収格子は、従来のフォトレジスト格子と比較して十分に高いX線照射耐性を実現します。

X線光学研究における製造パートナーをお探しの方へ！ NTT-AT社のX線光学部品開発の例をご紹介します。

EUVミラー・X線チャートなど、EUV・X線光学部品に関する論文をまとめました。