fitur
Gambar SEM grafik sinar-X
Mikroskop sinar-X diterapkan sebagai metode pencitraan resolusi tinggi di berbagai bidang, namun grafik dengan resolusi cukup tinggi diperlukan untuk evaluasi. Grafik sinar-X NTT-AT, yang memiliki pola penyerap tantalum (Ta) definisi tinggi yang terbentuk pada membran SiC dan SiN, digunakan untuk evaluasi resolusi di fasilitas radiasi sinkrotron di seluruh dunia.
Tergantung pada aplikasi Anda, Anda dapat memilih dari tiga tipe: tipe standar, tipe film tebal resolusi tinggi, dan tipe resolusi ultra tinggi. Kami juga menawarkan grafik reflektif untuk wilayah EUV.
Tergantung pada aplikasi Anda, Anda dapat memilih dari tiga tipe: tipe standar, tipe film tebal resolusi tinggi, dan tipe resolusi ultra tinggi. Kami juga menawarkan grafik reflektif untuk wilayah EUV.
Spesifikasi produk standar
| barang | Tipe standar XRESO-100 |
Film tebal jenis resolusi tinggi XRESO-50HC |
Jenis resolusi super tinggi XRESO-20 |
|
|---|---|---|---|---|
| pola | Penyerap | Ta, ketebalan 1,0 µm | Ta, ketebalan 500 nm | Ta, tebal 100 nm |
| dimensi minimum | 100nm | 50 nm | 20 nm (pola radial) | |
| daerah pola | 250 µm×350 µm |
300 µm×300 µm
|
||
| selaput | Ru (20 nm)/SiN (2 µm) | Ru (20 nm)/SiC (200 nm)/SiN (50 nm) | ||
| substrat | Bahan/bentuk luar | Si, 10 mm×10 mm | ||
| Ketebalan | 1 mm | 0.625 mm | ||
(a) Bagan sinar-X (b) Membran Ru/SiN (c) Substrat Si (d) Penyerap Ta
*Spesifikasi yang tercantum dapat berubah tanpa pemberitahuan untuk penyempurnaan produk. harap dicatat bahwa.
Gambar SEM pola representatif
pola radial
(XRSO-20)
(XRSO-20)
Pola lubang 100 nm
(XRESO-20)
(XRESO-20)
Pola garis & spasi 50 nm
(XRSO-20)
(XRSO-20)
Pola garis & spasi 50 nm
(XRESO-50HC)
(XRESO-50HC)
tata letak pola
Tipe resolusi super tinggi XRESO-20
①Pola radial, ②pola lubang 100 nm, pola garis & ruang ③50 nm
①Pola radial, ②pola lubang 100 nm, pola garis & ruang ③50 nm
Film tebal resolusi tinggi tipe XRESO-50HC
①Pola radial, ②pola garis & ruang ②50 nm
①Pola radial, ②pola garis & ruang ②50 nm
Tipe standar XRESO-100
Contoh pencitraan
Peralatan inspeksi: Token TUX-5000F, bagan: XRESO-50HC
(Atas izin Touken Co., Ltd.)
(Atas izin Touken Co., Ltd.)
Contoh pembuatan bagan khusus
Bagan reflektif untuk EUV
Film multilapis: Mo/Si untuk panjang gelombang 13,5 nm, penyerap: Ta
Film multilapis: Mo/Si untuk panjang gelombang 13,5 nm, penyerap: Ta
Silahkan hubungi kami
Jangan ragu untuk menghubungi kami untuk pertanyaan seperti perkiraan.
merapatkan