fitur
Foto eksterior pembagi berkas EUV
Dengan menggunakan pemecah sinar EUV, juga disebut setengah cermin EUV, sinar EUV dapat dipecah menjadi komponen transmisif dan reflektif dengan cara yang sama seperti cahaya tampak dan sinar ultraviolet. Elemen optik multilayer Mo/Si yang berdiri bebas ini digunakan dalam konstruksi interferometer dan sebagai monitor pancaran. Berdasarkan permintaan, kami akan menyesuaikan rasio transmisi/transmisi, sudut insiden, dll. di wilayah panjang gelombang 13,5 nm dan menyediakannya.
contoh desain
Panjang gelombang 13,5 nm, karakteristik pantulan/transmisi pemecah sinar untuk cahaya terpolarisasi-s
Sudut datang 45 derajat, pisah 1:1
Sudut insiden 45 derajat, transmisi tinggi
Sudut insiden 45 derajat, reflektansi tinggi
Sudut datang 6 derajat, pisah 1:1
Spesifikasi standar
Kami akan menyesuaikan rasio transmisi/refleksi, sudut insiden, panjang gelombang tengah, dan ukuran sesuai permintaan Anda. Kami juga menawarkannya dipasang di dudukan logam.
| Spesifikasi standar | |
|---|---|
| Bagian pembagi balok | 7 x 7 mm, multilapisan Mo/Si berdiri bebas |
| bagian bingkai | Substrat Si 14 mm x 14 mm, tebal 0,5 mm |
| Sudut kejadian | 45 derajat, 6 derajat |
| panjang gelombang pusat | 13,5 nm |
| Karakteristik refleksi/transmisi | 1:1, pantulan tinggi, transmisi tinggi |
Silahkan hubungi kami
Jangan ragu untuk menghubungi kami untuk pertanyaan seperti perkiraan.
merapatkan