fitur
Cermin dikroik EUV
Untuk memanfaatkan secara efisien lampu EUV yang dihasilkan oleh generasi harmonik orde tinggi, perlu untuk memisahkan lampu pompa intensitas tinggi yang menyebar secara koaksial dengan lampu EUV.
Cermin dichroic EUV NTT-AT memantulkan cahaya broadband EUV dan mencegah pantulan cahaya pompa yang terlihat atau hampir inframerah dengan ambang kerusakan yang tinggi dibandingkan dengan filter film tipis dan pemisah balok sudut Brewster. .
Selain produk standar untuk anti pantulan 800 nm, kami juga menawarkan produk khusus berdasarkan panjang gelombang, ukuran cermin, dan sudut datang yang diinginkan. Kami juga menawarkan produk berlapis dua sisi untuk penggandengan balok.
Cermin dichroic EUV NTT-AT memantulkan cahaya broadband EUV dan mencegah pantulan cahaya pompa yang terlihat atau hampir inframerah dengan ambang kerusakan yang tinggi dibandingkan dengan filter film tipis dan pemisah balok sudut Brewster. .
Selain produk standar untuk anti pantulan 800 nm, kami juga menawarkan produk khusus berdasarkan panjang gelombang, ukuran cermin, dan sudut datang yang diinginkan. Kami juga menawarkan produk berlapis dua sisi untuk penggandengan balok.
Barang standar
Profil refleksi EUV DM20/800-2002
Profil refleksi DM30/800-2002
Spesifikasi standar produk adalah sebagai berikut.
| DM-20/800-2002 | DM-30/800-2002 | |
|---|---|---|
| sudut miring | 12 derajat | |
| Polarisasi | p-terpolarisasi | |
| Anti-refleksi | <2% @ 800nm +/- 50nm | |
| pantulan EUV | 60% @ 20nm | 40% @ 30nm |
| Jenis substrat |
kuarsa
|
|
| ukuran | Diameter 50,8 mm, tebal 5,08 mm | |
| sisi belakang | selesai pasir | |
Contoh desain produk custom-made
Cermin dichroic untuk panjang gelombang 3 nm (sudut datang miring 3 derajat). Anti-refleksi: <30% @1,5 μm.
Kami akan merancang lapisan sesuai permintaan Anda.
| Spesifikasi khusus yang dibuat khusus | |
|---|---|
| Panjang papan maksimum | 300mm |
|
Pita refleksi tinggi
|
3nm - 120nm |
| panjang gelombang antirefleksi | 400nm, 800nm, 1030nm, 1,5μm |
| Polarisasi |
s-terpolarisasi, p-terpolarisasi
|
| sisi belakang | dilapisi, pasir selesai |
Unduh materi
| High Contrast and High Damage threshold EUV/Visible Dichroic Mirror (Bahasa Inggris, white paper) | 348KB | unduh |
|---|
Silahkan hubungi kami
Jangan ragu untuk menghubungi kami untuk pertanyaan seperti perkiraan.
merapatkan