Cermin multilapis Ru/B4C (150 eV - 100 eV)
untuk 150 eV
Reflektansi 33%, bandwidth 3,1 eV
Reflektansi 31%, bandwidth 1,9 eV
untuk 120 eV
Reflektansi 40%, bandwidth 2,2 eV
Reflektansi 40%, bandwidth 4,5 eV
untuk 100 eV
Reflektansi 41%, bandwidth 3,3 eV
Reflektansi 41%, bandwidth 6,6 eV
Cermin multilapisan Mo/Si (95 eV - 70 eV)
untuk 90 eV
Reflektansi 68%, bandwidth 3,5 eV
Reflektansi 67%, bandwidth 6,1 eV
untuk 80 eV
Reflektansi 61%, lebar pita 3,1 eV
Reflektansi 60%, bandwidth 7,7 eV
Cermin multilapisan Zr/AlSi (70 eV - 50 eV)
untuk 70 eV
Reflektansi 59%, bandwidth 2,8 eV
Reflektansi 59%, bandwidth 4,4 eV
untuk 60 eV
Reflektansi 49%, bandwidth 3,3 eV
Reflektansi 49%, bandwidth 6,3 eV
untuk 50 eV
Reflektansi 32%, bandwidth 4,9 eV
Reflektansi 32%, bandwidth 9,6 eV
Cermin multilapis SiC/Mg (45 eV - 20 eV)
untuk 40 eV
Reflektansi 48%, bandwidth 2,5 eV
Reflektansi 48%, bandwidth 3.0 eV
untuk 30 eV
Refleksi 44%, bandwidth 3.1 eV
Reflektansi 45%, bandwidth 3,8 eV
untuk 20 eV
Reflektansi 41%, bandwidth 3.1 eV
pantulan 46%.
Spesifikasi produk standar
| Model standar | EUVML-(a)-(b)-(c)-(d)-(e)(f) |
|---|---|
| (a) Bahan film berlapis-lapis | Ru/B4C, Mo/Si, Zr/AlSi, SiC/Mg |
| (b) Jenis reflektif | H: Reflektivitas Tinggi, N: Narrowband, B: Broadband |
| (c) Sudut datang | 0 derajat - 60 derajat |
| (d) energi pusat | 20 eV - 150 eV (60 nm - 8 nm) |
| (b) Ukuran substrat | 1025: diameter 1 inci x tebal 0,25 inci 0525: diameter 0,5" x tebal 0,25". |
| (c) Jenis substrat | F : datar, C : cekung (radius kelengkungan 100 mm - 3000 mm) |
Silahkan hubungi kami
Jangan ragu untuk menghubungi kami untuk pertanyaan seperti perkiraan.
merapatkan