Contoh desain cermin film lapisan tunggal EUV

Au cermin

Ni cermin

Ru cermin

SiC cermin

B₄C cermin

Spesifikasi produk standar

Model standar	EUVSM-(a)-(b)(c)
(a) Bahan pelapis	Au, Ni, Ru, B4C, SiC
(b) Ukuran substrat	1025: diameter 1 inci x tebal 0,25 inci 0525: diameter 0,5" x tebal 0,25".
(c) Jenis substrat	F : datar, C : cekung (radius kelengkungan 100 mm - 3000 mm)

Silahkan hubungi kami

Jangan ragu untuk menghubungi kami untuk pertanyaan seperti perkiraan.