Liste des produits MEMS/microfabriqués
Petit capteur de débit sanguin
Le flux sanguin périphérique reflète le mouvement du système circulatoire et de l'état mental, il devrait donc être appliqué à la promotion de la santé liée à la circulation sanguine, au soutien médical et aux domaines du divertissement. Cette modification du débit sanguin périphérique peut être visualisée en temps réel sur un smartphone à l'aide d'un capteur de débit sanguin compact et portable.
Accéléromètre haute sensibilité
Il s'agit d'un capteur d'accélération capacitif MEMS (Microelectromechanical Systems) fabriqué à l'aide de notre technologie unique de laminage de métal. Par rapport aux accéléromètres MEMS en silicium généraux, les performances de bruit de l'appareil lui-même peuvent être considérablement réduites.
Moule pour nanoimpression
Nous fournissons des motifs fins d'ordre nanométrique qui sont utilisés dans des domaines de recherche et de développement tels que la nanotechnologie, l'optique et la biotechnologie. Nous avons commencé à vendre un moule ultra-fin pour l'évaluation de la résolution avec une largeur de ligne minimale de 45 nm en tant que type standard (modèle : NIM-PHL45) à un prix abordable.
Produit traité par membrane
Notre membrane a une forte résistance mécanique et réalise un film autoportant très lisse grâce à un contrôle précis des contraintes. Selon les besoins du client, le matériau peut être sélectionné parmi SiC/SiN, et une large gamme d'épaisseurs/tailles de film peut être traitée. Des exemples d'application sont également présentés.