caractéristique
Image SEM d'un diagramme à rayons X
La microscopie à rayons X est utilisée comme méthode d'imagerie à haute résolution dans divers domaines, mais des graphiques présentant une résolution suffisamment élevée sont nécessaires pour l'évaluation. Le diagramme de rayons X de NTT-AT, qui présente un motif d'absorbeur de tantale (Ta) haute définition formé sur des membranes SiC et SiN, est utilisé pour l'évaluation de la résolution dans les installations de rayonnement synchrotron du monde entier.
En fonction de votre application, vous pouvez choisir parmi trois types : le type standard, le type à couche épaisse haute résolution et le type ultra haute résolution. Nous proposons également des tableaux réfléchissants pour la région EUV.
En fonction de votre application, vous pouvez choisir parmi trois types : le type standard, le type à couche épaisse haute résolution et le type ultra haute résolution. Nous proposons également des tableaux réfléchissants pour la région EUV.
Spécifications standards du produit
| Objet | Type standard XRESO-100 |
Type haute résolution à film épais XRESO-50HC |
Type à très haute résolution XRESO-20 |
|
|---|---|---|---|---|
| motif | Absorbeur | Ta, 1,0 µm d'épaisseur | Ta, 500 nm d'épaisseur | Ta, 100 nm d'épaisseur |
| dimension minimale | 100 nm | 50 nm | 20 nm (modèle radial) | |
| zone de motif | 250 µm×350 µm |
300 µm×300 µm
|
||
| membrane | Ru (20 nm)/SiN (2 µm) | Ru (20 nm)/SiC (200 nm)/SiN (50 nm) | ||
| substrat | Matériau/forme extérieure | Si, 10 mm×10 mm | ||
| Épaisseur | 1 mm | 0.625 mm | ||
(a) Diagramme de rayons X (b) Membrane Ru/SiN (c) Substrat Si (d) Absorbeur Ta
*Les spécifications répertoriées sont sujettes à changement sans préavis en raison de l'amélioration du produit. veuillez le noter.
Image SEM de motif représentatif
motif radial
(XRSO-20)
(XRSO-20)
Modèle de trou de 100 nm
(XRESO-20)
(XRESO-20)
Modèle de ligne et d'espace de 50 nm
(XRSO-20)
(XRSO-20)
Modèle de ligne et d'espace de 50 nm
(XRESO-50HC)
(XRESO-50HC)
disposition des motifs
Type XRESO-20 à très haute résolution
①Modèle radial, ②Modèle de trous de 100 nm, ③Modèle de lignes et d'espaces de 50 nm
①Modèle radial, ②Modèle de trous de 100 nm, ③Modèle de lignes et d'espaces de 50 nm
Film épais haute résolution type XRESO-50HC
①Modèle radial, ②Modèle de ligne et d'espace de 50 nm
①Modèle radial, ②Modèle de ligne et d'espace de 50 nm
Modèle standard XRESO-100
Exemple d'imagerie
Équipement d'inspection : Token TUX-5000F, carte : XRESO-50HC
(Avec l'aimable autorisation de Token Co., Ltd.)
(Avec l'aimable autorisation de Token Co., Ltd.)
Exemple de fabrication de graphiques personnalisés
Tableau réfléchissant pour EUV
Film multicouche : Mo/Si pour longueur d'onde 13,5 nm, absorbeur : Ta
Film multicouche : Mo/Si pour longueur d'onde 13,5 nm, absorbeur : Ta
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