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Membrane SiC/membrane SiN

Demandes en anglais
Il s'agit d'une membrane à couche mince de SiC ou de SiN utilisée comme porte-échantillon standard pour l'analyse aux rayons X et l'analyse par faisceau d'électrons (SEM, TEM).

Il peut être personnalisé en fonction de vos besoins, comme indiqué ci-dessous.
  • Formation de film mince métallique à utiliser comme cible de film mince ou séparateur de faisceau.
  • Formation de fente/trou d'épingle à utiliser comme élément de mise en forme de faisceau.
  • Membrane (SiN) d'une épaisseur inférieure à 50 nm à utiliser comme élément de transmission de rayons X mous ou de faisceaux d'électrons

Spécifications standards du produit

  SiC SiN (isolant)
Matériel Amorphe ou polycristallin SiN amorphe
épaisseur 100 nm - 2 μm 50 nm - 2 μm
la taille de la fenêtre Carré de 0,1 mm à 10 mm (selon l'épaisseur du film)
Taille des copeaux de coupe 2.1 mm - 20 mm 角
épaisseur du cadre 0.2 mm - 0.625mm
substrat Substrat Si de diamètre 4 pouces
option Revêtement métallique, formation de fentes/trous

Usage

  • Porte-échantillon pour l'analyse par rayons X, par faisceau d'électrons et EUV
  • Matériau de fenêtre pour cellules liquides pour analyses chimiques et biologiques
  • fenêtre à vide
  • Matériau de support pour élément optique à rayons X de type transmission

Exemple de fabrication

SiNメンブレン
moule à découper
SiNメンブレン ウエハー
type de plaquette

 

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