Miroir EUV / Miroir à rayons X doux

caractéristique

Miroir multicouche Mo/Si

Nous fournissons des miroirs EUV qui réfléchissent la lumière EUV avec une énergie photonique de 10 eV - 1 keV (longueur d'onde 120 nm - 1,2 nm) avec un rendement élevé. Ce miroir à bande d'énergie, également appelé rayons X doux ou lumière XUV, est utilisé dans un large éventail de domaines tels que les applications industrielles telles que la lithographie EUV, la recherche physique et chimique à ultra-haute vitesse utilisant des harmoniques d'ordre élevé, les applications d'astrophysique, et l'observation du plasma aux rayons X mous.
Les miroirs à film multicouche sont principalement utilisés pour l'incidence directe, et les miroirs à film monocouche sont principalement utilisés pour l'incidence oblique.

Exemple de conception

Miroir multicouche Mo/Si, angle d'incidence 0 degré

Miroir monocouche Ru, angle d'incidence 80 degrés

Voir des exemples de conceptions de miroirs multicouches dans chaque gamme d'énergie ↓
Voir des exemples de conceptions de miroirs monocouches dans chaque plage d'énergie ↓

Spécifications typiques

Nous concevrons la forme et le revêtement du substrat en fonction de votre demande.

	Spécifications typiques
Taille maximum	Diamètre 3mm - 450mm
forme de miroir	Plane, Concave, Cylindrique, Parabolique, Sphéroïdale, Toroïdale
matériau multicouche	Ru/B₄C, Mo/Si, Zr/AlSi, SiC/Mg, W/B₄C
matériau monocouche	Ru, B₄C, C, Ni, Au

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Multilayer Coating for Extreme Ultraviolet Experiments (Anglais, white paper)	615KB	Télécharger

Exemple de conception de miroir multicouche EUV

Il s'agit d'un exemple de conception d'un miroir multicouche pour 20 eV - 150 eV (longueur d'onde 60 nm - 8 nm).

Miroir multicouche Ru/B₄C (150 eV - 100 eV)

pour 150 eV

Réflectance : 33 %, Bande passante : 3,1 eV

Réflectance : 31 %, Bande passante : 1,9 eV

pour 120 eV

Réflectance : 40 %, Bande passante : 2,2 eV

Réflectance : 40 %, Bande passante : 4,5 eV

pour 100 eV

Réflectance : 41 %, Bande passante : 3,3 eV

Réflectance : 41 %, Bande passante : 6,6 eV

Miroir multicouche Mo/Si (95 eV - 70 eV)

pour 90 eV

Réflectance : 68 %, Bande passante : 3,5 eV

Réflectance : 67 %, Bande passante : 6,1 eV

pour 80 eV

Réflectance : 61 %, Bande passante : 3,1 eV

Réflectance : 60 %, Bande passante : 7,7 eV

Miroir multicouche Zr/AlSi (70 eV - 50 eV)

pour 70 eV

Réflectance : 59 %, Bande passante : 2,8 eV

Réflectance : 59 %, Bande passante : 4,4 eV

pour 60 eV

Réflectance : 49 %, Bande passante : 3,3 eV

Réflectance : 49 %, Bande passante : 6,3 eV

pour 50 eV

Réflectance : 32 %, Bande passante : 4,9 eV

Réflectance : 32 %, Bande passante : 9,6 eV

Miroir multicouche SiC/Mg (45 eV - 20 eV)

pour 40 eV

Réflectance : 48 %, Bande passante : 2,5 eV

Réflectance : 48 %, Bande passante : 3,0 eV

pour 30 eV

Réflectance : 44 %, Bande passante : 3,1 eV

Réflectance : 45 %, Bande passante : 3,8 eV

pour 20 eV

Réflectance : 41 %, Bande passante : 3,1 eV

Réflectance : 46 %

Spécifications du produit standard du miroir multicouche EUV

Modèle standard	EUVML-(a)-(b)-(c)-(d)-(e)(f)
(a) Matériau de film multicouche	Ru/B₄C, Mo/Si, Zr/AlSi, SiC/Mg
(b) Type réfléchissant	H : haute réflectivité, N : bande étroite, B : large bande
(c) Angle d'incidence	0 degrés - 60 degrés
(d) énergie centrale	20 eV - 150 eV (60 nm - 8 nm)
(b) Taille du substrat	1025 : 1 pouce de diamètre x 0,25 pouce d'épaisseur 0525 : 0,5" de diamètre x 0,25" d'épaisseur
(c) Type de substrat	F : plat, C : concave (rayon de courbure 100 mm - 3000 mm)

Exemple de conception de miroir de film monocouche EUV

Il s'agit d'un exemple de conception d'un miroir monocouche pour 10 eV - 1 keV (longueur d'onde 120 nm - 1,2 nm).

Au miroir

Ni miroir

Ru miroir

SiC miroir

B₄C miroir

Spécifications du produit standard pour miroir monocouche EUV

Modèle standard	EUVSM-(a)-(b)(c)
(a) Matériau de revêtement	Au, Ni, Ru, B₄C, SiC
(b) Taille du substrat	1025 : 1 pouce de diamètre x 0,25 pouce d'épaisseur 0525 : 0,5" de diamètre x 0,25" d'épaisseur
(c) Type de substrat	F : plat, C : concave (rayon de courbure 100 mm - 3000 mm)

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Demandes en anglais

Nous fournissons des miroirs multicouches et des miroirs monocouches pour EUV.