caractéristique
Image SEM du réseau de diffraction
Nous proposons des photons de diffraction de type transmission avec une structure de pochoir qui offrent une efficacité de diffraction élevée même dans la région VUV, la région EUV et la région des rayons X mous, où l'absorption matérielle est importante.
Il peut être utilisé pour des expériences de spectroscopie harmonique d'ordre élevé, des éléments d'inspection/évaluation dans la région EUV, la spectroscopie plasma à rayons X, etc. En plus des grilles unidimensionnelles standards, nous proposons également des produits sur mesure selon les demandes des clients.
Il peut être utilisé pour des expériences de spectroscopie harmonique d'ordre élevé, des éléments d'inspection/évaluation dans la région EUV, la spectroscopie plasma à rayons X, etc. En plus des grilles unidimensionnelles standards, nous proposons également des produits sur mesure selon les demandes des clients.
Exemple de conception
Efficacité de diffraction du réseau double couche Ta/SiN
Efficacité de diffraction du réseau SiN
Spécifications standards du produit
| structure | Type à 2 couches Ta/SiN | Type SiN |
|---|---|---|
| Taille du réseau de diffraction | 2 mm x 2 mm | |
| Nombre de lignes | 100 line/mm - 2400 line/mm | |
| faisceau | Largeur de 500 nm, pas de 50 µm (perpendiculaire au réseau) | |
| matériau du réseau de diffraction | Ta (100 nm) / SiN (100 nm) | SiN (100 nm) |
| frites | 10 mm x 10 mm x 0,625 mm d'épaisseur, Si | |
Configuration du réseau de transmission. (a) cadre en Si, (b) réseau de transmission
Contactez nous s'il vous plait
N'hésitez pas à nous contacter pour toute demande telle qu'un devis.
fermer