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Miroir toroïdal EUV

Nous fournissons des miroirs toroïdaux de haute précision pour les régions EUV, VUV et rayons X mous.

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caractéristique

image
Miroir toroïdal, revêtement B4C
Les miroirs toroïdaux à incidence rasante sont utilisés dans les systèmes expérimentaux qui nécessitent une focalisation harmonique d'ordre élevé à large bande, comme la science attoseconde. Les miroirs toroïdaux de NTT-AT sont utilisés par les chercheurs de nombreuses universités et instituts de recherche en raison de leurs formes et de leurs divers revêtements qui peuvent être adaptés à leurs besoins.
Les miroirs toroïdaux à incidence directe peuvent être utilisés dans des systèmes expérimentaux où les aberrations avec les miroirs sphériques posent problème. En fonction de vos conditions d'utilisation, vous pouvez choisir entre des revêtements multicouches EUV à haute réflectance, à large bande ou à bande étroite.

Exemple de fabrication

Exemple d'image de production
Longueur 200 mm x Largeur 30 mm, revêtement Au,
Angle d'incidence oblique 3 degrés
Exemple d'image de production
Longueur 140 mm x Largeur 30 mm, revêtement Pt,
Angle d'incidence oblique 2 degrés

Exemple de revêtement

graphique
      Revêtement multicouche Mo/Si, angle d'incidence 45 degrés
 
graphique
      Revêtement monocouche Au, angle d'incidence oblique 3 degrés
 

Spécifications typiques

Nous concevrons la forme et le revêtement du substrat en fonction de votre demande.

  Spécifications typiques
Longueur maximale du miroir 200 mm
rayon de courbure minimum 10 mm
Précision de la forme de la planche λ/4 PV @633 nm
Matériau de revêtement multicouche Mo/Si, Zr/AlSi, SiC/Mg
Matériau de revêtement monocouche Au, Pt, Ru, Ni, B4C, SiC, C

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N'hésitez pas à nous contacter pour toute demande telle qu'un devis.

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