caractéristique
Miroir toroïdal, revêtement B4C
Les miroirs toroïdaux à incidence rasante sont utilisés dans les systèmes expérimentaux qui nécessitent une focalisation harmonique d'ordre élevé à large bande, comme la science attoseconde. Les miroirs toroïdaux de NTT-AT sont utilisés par les chercheurs de nombreuses universités et instituts de recherche en raison de leurs formes et de leurs divers revêtements qui peuvent être adaptés à leurs besoins.
Les miroirs toroïdaux à incidence directe peuvent être utilisés dans des systèmes expérimentaux où les aberrations avec les miroirs sphériques posent problème. En fonction de vos conditions d'utilisation, vous pouvez choisir entre des revêtements multicouches EUV à haute réflectance, à large bande ou à bande étroite.
Les miroirs toroïdaux à incidence directe peuvent être utilisés dans des systèmes expérimentaux où les aberrations avec les miroirs sphériques posent problème. En fonction de vos conditions d'utilisation, vous pouvez choisir entre des revêtements multicouches EUV à haute réflectance, à large bande ou à bande étroite.
Exemple de fabrication
Longueur 200 mm x Largeur 30 mm, revêtement Au,
Angle d'incidence oblique 3 degrés
Angle d'incidence oblique 3 degrés
Longueur 140 mm x Largeur 30 mm, revêtement Pt,
Angle d'incidence oblique 2 degrés
Angle d'incidence oblique 2 degrés
Exemple de revêtement
Revêtement multicouche Mo/Si, angle d'incidence 45 degrés
Revêtement monocouche Au, angle d'incidence oblique 3 degrés
- Cliquez ici pour des exemples de conception de miroirs à film multicouche dans chaque plage d'énergie
- Cliquez ici pour des exemples de conception de miroir à film monocouche dans chaque plage d'énergie
Spécifications typiques
Nous concevrons la forme et le revêtement du substrat en fonction de votre demande.
Spécifications typiques | |
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Longueur maximale du miroir | 200 mm |
rayon de courbure minimum | 10 mm |
Précision de la forme de la planche | λ/4 PV @633 nm |
Matériau de revêtement multicouche | Mo/Si, Zr/AlSi, SiC/Mg |
Matériau de revêtement monocouche | Au, Pt, Ru, Ni, B4C, SiC, C |
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