caractéristique
Polariseur multicouche W/B4C
Dans la région EUV et la région des rayons X mous où l'indice de réfraction du matériau est proche de 1, l'angle de Brewster est d'environ 45 degrés. Par conséquent, le miroir multicouche destiné à être utilisé à environ 45 degrés a une réflectance élevée uniquement pour la lumière polarisée s et fonctionne également comme polariseur. En utilisant cette caractéristique, nous proposons des polariseurs à film multicouche avec une efficacité suffisante d'environ 30 eV à 800 eV (1,5 nm - 40 nm).
Ces polariseurs à film multicouche sont utilisés non seulement pour les expériences sur les propriétés physiques utilisant le rayonnement synchrotron et les harmoniques d'ordre élevé, mais également pour la recherche fondamentale pour des applications industrielles telles que la lithographie EUV.
Ces polariseurs à film multicouche sont utilisés non seulement pour les expériences sur les propriétés physiques utilisant le rayonnement synchrotron et les harmoniques d'ordre élevé, mais également pour la recherche fondamentale pour des applications industrielles telles que la lithographie EUV.
Exemple de conception
Ligne continue : lumière polarisée s, ligne pointillée : lumière polarisée p
Polariseur pour l'énergie 60 eV
Polariseur pour l'énergie 90 eV
Polariseur pour énergie dépendante 150 eV
Polariseur pour l'énergie 300 eV
Spécifications typiques
Nous concevrons la forme et le revêtement du substrat en fonction de votre demande.
| Spécifications typiques | |
|---|---|
| taille de base | 10 mm x 10 mm x 1 mm d'épaisseur |
| Matériau du substrat | Si |
| matériau multicouche | SiC/Mg, Zr/AlSi, Mo/Si, Ru/B4C, W/B4C |
| Gamme d'énergie compatible | 30 eV - 800 eV |
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