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Guide d'ondes en silicium (photonique au silicium)

Des services de fonderie qui soutiennent la recherche et le développement de pointe

Demandes en anglais

Valorisez votre recherche et développement et concrétisez vos idées ! !

Caractéristiques de notre service de fabrication de guides d'ondes en silicium

Fabrication de guides d'ondes en silicium sur la base des conceptions des clients

高度加工技術に支えられたSi細線導波路ベースのプラットフォーム上にお客様の設計に基づいた極微細光回路を実現します。
  ※ 設計図( GDSⅡ形式 もしくは dxf 形式)をご用意ください。

Réalise des connexions à faible perte entre les guides d'ondes en silicium et les réseaux de fibres optiques

convertisseur de taille de spot, il permet une connexion à faible perte avec une fibre optique, etc., permettant aux clients d'effectuer des évaluations de haute précision.Équipé d'un

Capable de répondre à divers besoins de conception

Nous offrons des options pour répondre aux divers besoins de nos clients, comme un contrôle précis des propriétés optiques et des composites avec différents types de matériaux tels que les polymères.

Prise en charge transparente de la fabrication de guides d'ondes en silicium → évaluation des caractéristiques → montage de la fibre optique

En plus de fabriquer des guides d'ondes en silicium, nous pouvons répondre de manière transparente aux demandes des clients, de l'évaluation des caractéristiques optiques à la fixation des fibres optiques sur les puces.


1. Guide d'ondes à fil Si - exemple de production de puce prototype de base -

Nous réalisons des circuits optiques ultrafins basés sur les conceptions des clients sur des plates-formes basées sur des guides d'ondes à fil Si.
Exemple de production de puces prototypes d'un circuit de guide d'ondes en silicium de base
Exemple de spécification
Diamètre du noyau du guide d'ondes 400-500nm de largeur x 220nm d'épaisseur
entrefer du résonateur en anneau 150 nm ou plus
région de guide d'ondes 5 mm x 5 mm
Diamètre du noyau de conversion SS 3μm × 3μm
Espacement des guides d'ondes du convertisseur SS 50 μm ou plus
Taille de coupe de puce 15 mm x 5,6 mm
Compatible avec les guides d'ondes passifs et les circuits optiques

2. Connexion à faible perte : convertisseur de taille de spot

En ajoutant une conversion de taille de point à l'extrémité du guide d'ondes, il peut être connecté à une fibre optique ou à un laser à faible perte. (1,5[dB/connexion])
convertisseur de taille de spot
Structure du Conventer Spot-Size (SSC)

Exemple de connexion d'un réseau de fibres optiques à une puce Si

Exemple de connexion d'un réseau de fibres optiques à une puce de silicium
Exemple de connexion d'un réseau de fibres optiques à une puce Si

Structure de connexion du réseau de fibres

Structure de connexion du réseau de fibres
Structure de connexion du réseau de fibres

3. Exemple de traitement optionnel

Chauffage pour le contrôle de la température et câblage supplémentaire
Contrôle la longueur d'onde de transmission en contrôlant l'indice de réfraction avec une grande précision.
Introduction de matériaux fonctionnels
Introduction de matériaux fonctionnels tels que les matériaux polarisés.

Chauffage minimal Ta pour le contrôle de la température

Exemple d'application

Commutateurs optiques, filtres de longueur d'onde de précision

Demande du client

Contrôle précis des propriétés optiques par chauffage local

la solution

un film mince de Ta métallique à point de fusion élevé.1 Obtient un réchauffeur difficile à casser en utilisant

2   Réchauffeur ultra-fin réalisé par un traitement de forme de haute précision

3   Réalise le chauffage de pièces spécifiques uniquement en acheminant avec un câblage Au à faible résistance

Exemple de traitement de modèle de chauffage Ta sur quartz (sur revêtement)


Vue en coupe du micro-chauffage
Vue en coupe du micro-chauffage

Exemple de traitement de modèle de chauffage Ta sur quartz (sur revêtement)
Modèle de chauffage Ta (exemple de traitement)
Image SEM
Image MEB : modèle de chauffage Ta (Fig. 1)

Exemple d'application

Exemple d'application
Exemple d'application

Introduction de matériaux fonctionnels

Le revêtement peut être formé à l'aide de divers matériaux fonctionnels.
Exemple d'application

Capteurs, modulateurs

Demande du client

Hybridation de guides d'ondes Si et de matériaux fonctionnels

la solution

1 Réalisation de la structure partiellement exposée du guide d'onde Si

2 Appliquer un traitement qui n'endommage pas le guide d'onde Si en combinant la gravure sèche et la gravure humide

3   Réalisation d'un procédé ne formant pas partiellement de surgainage


Traitement de l'image

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