caractéristique
Photo extérieure du séparateur de faisceau EUV
En utilisant un séparateur de faisceau EUV, également appelé demi-miroir EUV, la lumière EUV peut être divisée en composants transmissifs et réfléchissants de la même manière que la lumière visible et la lumière ultraviolette. Cet élément optique, qui se compose d'un film multicouche Mo/Si autonome, est utilisé dans la construction d'interféromètres et comme moniteur de faisceau. Sur demande, nous pouvons personnaliser le rapport transmission/transmission, l'angle d'incidence, etc. dans la région de longueur d'onde de 13,5 nm.
exemple de conception
Longueur d'onde 13,5 nm, caractéristiques de réflexion/transmission du séparateur de faisceau pour la lumière polarisée s
Angle d'incidence 45 degrés, division 1:1
Angle d'incidence 45 degrés, transmission élevée
Angle d'incidence 45 degrés, haute réflectance
Angle d'incidence 6 degrés, division 1:1
Spécifications standards
Nous personnaliserons le rapport de transmission/réflexion, l'angle d'incidence, la longueur d'onde centrale et la taille en fonction de votre demande. Nous le proposons également monté dans un support métallique.
| Spécifications standards | |
|---|---|
| Partie séparateur de faisceau | 7 x 7 mm, multicouche Mo/Si autoportant |
| partie de cadre | 14 mm x 14 mm, substrat Si de 0,5 mm d'épaisseur |
| Angle d'incidence | 45 degrés, 6 degrés |
| longueur d'onde centrale | 13,5 nm |
| Caractéristiques de réflexion/transmission | 1:1, haute réflexion, haute transmission |
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N'hésitez pas à nous contacter pour toute demande telle qu'un devis.
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