caractéristique
Miroir dichroïque EUV
Afin d'utiliser efficacement la lumière EUV générée par la génération d'harmoniques d'ordre élevé, il est nécessaire de séparer la lumière de pompage à haute intensité se propageant coaxialement avec la lumière EUV.
Le miroir dichroïque EUV de NTT-AT réfléchit la lumière EUV à large bande et empêche la réflexion de la lumière de pompe visible ou proche infrarouge avec un seuil de dommage élevé par rapport aux filtres à couches minces et aux séparateurs de faisceaux angulaires de Brewster. .
En plus des produits standard pour l'anti-reflet 800 nm, nous proposons également des produits personnalisés basés sur la longueur d'onde souhaitée, la taille du miroir et l'angle d'incidence. Nous proposons également des produits revêtus double face pour le couplage de faisceaux.
Le miroir dichroïque EUV de NTT-AT réfléchit la lumière EUV à large bande et empêche la réflexion de la lumière de pompe visible ou proche infrarouge avec un seuil de dommage élevé par rapport aux filtres à couches minces et aux séparateurs de faisceaux angulaires de Brewster. .
En plus des produits standard pour l'anti-reflet 800 nm, nous proposons également des produits personnalisés basés sur la longueur d'onde souhaitée, la taille du miroir et l'angle d'incidence. Nous proposons également des produits revêtus double face pour le couplage de faisceaux.
Marchandises standards
Profil de réflexion EUV DM20/800-2002
Profil de réflexion du DM30/800-2002
Les spécifications standard du produit sont les suivantes.
| DM-20/800-2002 | DM-30/800-2002 | |
|---|---|---|
| angle oblique | 12 degrés | |
| Polarisation | polarisé p | |
| Anti reflet | <2% @ 800nm +/- 50nm | |
| Réflexion EUV | 60 % à 20 nm | 40 % à 30 nm |
| Type de substrat |
quartz
|
|
| Taille | 50,8 mm de diamètre, 5,08 mm d'épaisseur | |
| verso | finition sablée | |
Exemple de conception de produit sur mesure
Miroir dichroïque pour longueur d'onde 3 nm (angle d'incidence oblique 3 degrés). Anti-reflet : < 30 % à 1,5 μm.
Nous concevrons le revêtement selon votre demande.
| Spécifications typiques sur mesure | |
|---|---|
| Longueur maximale de la planche | 300mm |
|
Bande à haute réflexion
|
3nm - 120nm |
| longueur d'onde antireflet | 400nm, 800nm, 1030nm, 1.5μm |
| Polarisation |
polarisé s, polarisé p
|
| verso | enduit, finition sablée |
Téléchargement de documents
| High Contrast and High Damage threshold EUV/Visible Dichroic Mirror (anglais, livre blanc) | 348KB | Télécharger |
|---|
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