Exemple de conception de miroir de film monocouche EUV

Au miroir

Ni miroir

Ru miroir

SiC miroir

B₄C miroir 

Spécifications standards du produit

Modèle standard	EUVSM-(a)-(b)(c)
(a) Matériau de revêtement	Au, Ni, Ru, B4C, SiC
(b) Taille du substrat	1025 : 1 pouce de diamètre x 0,25 pouce d'épaisseur 0525 : 0,5" de diamètre x 0,25" d'épaisseur
(c) Type de substrat	F : plat, C : concave (rayon de courbure 100 mm - 3000 mm)

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