Au miroir
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Ni miroir
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Ru miroir
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SiC miroir
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B4C miroir
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Spécifications standards du produit
Modèle standard | EUVSM-(a)-(b)(c) |
---|---|
(a) Matériau de revêtement | Au, Ni, Ru, B4C, SiC |
(b) Taille du substrat | 1025 : 1 pouce de diamètre x 0,25 pouce d'épaisseur 0525 : 0,5" de diamètre x 0,25" d'épaisseur |
(c) Type de substrat | F : plat, C : concave (rayon de courbure 100 mm - 3000 mm) |
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