caractéristique
Image SEM de la plaque de zone de Fresnel
Dans la région des rayons X, où l'indice de réfraction du matériau est approximativement égal à 1, contrairement à la lumière visible, il n'est pas possible de focaliser la lumière avec une lentille convexe, c'est pourquoi une plaque zonée de Fresnel (FZP) est utilisée comme focalisation. élément.
Le FZP de NTT-AT utilise un motif Ta à haute verticalité comme matériau absorbant et une membrane SiC à haute résistance à l'irradiation aux rayons X comme matériau de maintien, et est largement utilisé dans les installations de rayonnement synchrotron.
Le FZP de NTT-AT utilise un motif Ta à haute verticalité comme matériau absorbant et une membrane SiC à haute résistance à l'irradiation aux rayons X comme matériau de maintien, et est largement utilisé dans les installations de rayonnement synchrotron.
Exemple de fabrication
FZP ultra-fin : diamètre 250 µm, épaisseur du film Ta 200 nm, largeur de la zone la plus externe 50 nm, épaisseur de la membrane SiC 2,0 µm
FZP haut aspect : diamètre 100 µm, épaisseur du film Ta 2 µm, largeur de la zone la plus externe 200 nm, épaisseur de la membrane SiN 2,0 µm
Spécifications typiques
Nous concevrons en fonction de l'énergie, de la distance focale, de la résolution, etc. demandées.
| Spécifications typiques | |
|---|---|
| Largeur minimale de la zone la plus externe et rapport hauteur/largeur | 50 nm (rapport hauteur/largeur 4), 200 nm (rapport hauteur/largeur 10) |
| diamètre maximal | 2 mm |
| matériau de la membrane | SiC ou SiN, 0,2 µm - 2 µm |
| matériau absorbant | Ta, 0.1 µm - 2.0 µm |
| Dimensions extérieures du cadre Si | 10 mm x 10 mm x 1 mm d'épaisseur |
(a) Coupe FZP aux rayons X (b) Membrane SiC ou SiN (c) Substrat en Si (d) Absorbeur de Ta
Pièces optionnelles
arrêt du faisceau central
Absorbeur : Au, 30 µm d'épaisseur, membrane : SiC
Absorbeur : Au, 30 µm d'épaisseur, membrane : SiC
Trou d'épingle
Matériau : Pt, 100 µm d'épaisseur, diamètre du trou d'épingle : 50 um
Matériau : Pt, 100 µm d'épaisseur, diamètre du trou d'épingle : 50 um
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