X線光電子分光分析 (XPS)とは？
・試料にＸ線を照射し，発生する光電子を検出します・光電子のエネルギーから構成元素種が，強度から濃度が分かります
・また，スペクトル形状の違いから化学状態の違いが分かります
分析装置
特徴
- 化学状態分析が可能
- 定量性が比較的よい
- 絶縁物分析が比較的容易
- スパッタリング併用による深さ方向分析
適用例（観察例）
- 超純水洗浄処理によるGaAs表面の洗浄化
超純水洗浄処理によるGaAs表面の洗浄化
低エネルギーでの表面処理技術の一つとして超純水によるGaAs表面の洗浄化が検討され、XPS分析により溶存酸素濃度が低いほど酸化物成分が容易に除去できることがわかりました。試料をグローブボックス内で処理し、不活性雰囲気にしたトランスファーベッセルを用いて、大気に試料表面をさらすことなくXPS装置に移動させ、移動中の表面汚染、酸化をできるだけおさえた条件で測定しました。
データ提供：NTT
参考文献：J. Appl. Phys. 75, 1798（1994）
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