采用自主开发的金属积层技术制作的静电容量型MEMS (Microelectromechanical Systems) 加速度传感器。与普通硅MEMS加速度传感器相比，可以大大降低器件本身的噪声性能。 高灵敏度加速度传感器 这是一款应用了通过日本电信电话研究所培育的微细加工技术的MEMS加速度传感器。通过设计结构，与内置手机等的加速度传感器相比，实现了高灵敏度和低噪声性能。可根据客户的需求以各种形式提供。(模块， PKG,芯片)
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