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NTT-AT先进微结构形成所需的半导体加工设备
加压减压台式洁净炉 自动加热加压处理装置
带压力控制功能
在半导体和LED等的封装 (封装) 工艺中发挥了效果。增加了在处理过程中自动调整压力的功能。 液晶/触摸屏领域,半导体领域的气泡去除。备有各种功能和尺寸。

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