NTT-AT先进微结构形成所需的半导体加工设备
| 加压减压台式洁净炉 | 自动加热加压处理装置 |
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圧力制御機能付き
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| 在半导体和LED等的封装 (封装) 工艺中发挥了效果。增加了在处理过程中自动调整压力的功能。 | 液晶/触摸屏领域，半导体领域的气泡去除。备有各种功能和尺寸。 |
特写