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X线图

提供X射线显微镜用的分辨率测试图表。

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特征

X射线显微图像
X射线图像SEM图像
X射线显微镜作为高分辨率成像方法应用于各个领域,但需要具有足够高分辨率的图表来进行评估。NTT-AT的 X 射线图具有在 SiC 和 SiN 膜上形成的高清钽 (Ta) 吸收体图案,用于世界各地同步加速器辐射设施的分辨率评估。
根据您的应用,您可以选择三种类型:标准型、厚膜高分辨率型和超高分辨率型。我们还提供 EUV 区域的反射图表。

标准规格

条目 标准型
XRESO-100
厚膜高分辨率型
XRESO-50HC
超高分辨率型
XRESO-20
帕坦 吸收体 Ta, 1.0μm厚 Ta, 500 nm厚 Ta, 100 nm厚
最小尺寸 100 nm 50 nm 20 nm (径向图案)
模式区域 250 µm×350 µm
300 µm×300 µm
薄膜 Ru (20 nm)/SiN (2 µm) Ru (20 nm)/SiC (200 nm)/SiN (50 nm)
基板 材质、外形 Si, 10 mm×10 mm
厚度 1 mm 0.625 mm

外观示意图 (高分辨率类型)
(a)X线图部 (b) Ru/SiN膜 (c) Si基板 (d) Ta吸收体
※记载的规格等为了改良产品,可能会有变更。请谅解。

代表模式SEM图像

图片1
放射状图案
(XRSO-20)
图片2
100 nm 孔图案
(XRESO-20)
图像3
50 nm 线和空间图案
(XRSO-20)
图像4
50 nm 线和空间图案
(XRESO-50HC)

图案布局

图案布局图像1
超高分辨率型XRESO-20
①放射状图案,②100 nm孔图案,③50 nm线和空间图案
 
图案布局图像2
厚膜高分辨率型XRESO-50HC
①放射状图案,②50 nm线&空间图案
 
图案布局图像3
标准型XRESO-100

成像示例

图像
检测设备:Token TUX-5000F,图表:XRESO-50HC
(由东建株式会社提供)

定制图表制造示例

图像
EUV 反射图
多层膜:Mo/Si,波长 13.5 nm,吸收体:Ta

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