EUV/X射线光学系统设计与制作

特征

卡塞格伦EUV望远镜

用于对波长比可见光短的EUV光和X射线进行聚焦和成像的光学系统取决于光源的类型和要观察的物体，使用的是A型望远镜。
除了提供这些各种光学系统外，我们还提供用于光谱、光束形成和光束分裂的光学系统和元件、评估元件以及各种光学元件的调整机构。我们还提供在日本使用的 HP Spectroscopy 的EUV 和软 X 射线光谱仪。

生产实例

Mo/Si多层膜凹面镜和凸面镜

望远镜单元 (后) 和聚光直径单元 (前)

是组合了直入射的凹面反射镜和凸面反射镜的聚光或成像光学系统。我们将根据您使用的波长为每个镜子提供多层膜涂层或单层膜涂层。
 

K-B反射镜光学系统的凹面镜

K-B反射镜光学单元

是由两个斜入射的凹面镜组合而成的聚光光学系统。在各镜子上涂上符合使用波长的全反射用单层膜。

典型光学元件

我们将根据您的要求提供光学元件、调整机构、真空容器等。

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