特征
衍射光栅SEM像
我们提供具有模板结构的透射型衍射光子，即使在材料吸收较大的 VUV 区域、EUV 区域和软 X 射线区域也能提供高衍射效率。
可用于高次谐波光谱实验、EUV区域的元件检查/评价、X射线等离子体光谱等。除了标准的一维网格外，我们还可以根据客户的要求提供定制产品。
可用于高次谐波光谱实验、EUV区域的元件检查/评价、X射线等离子体光谱等。除了标准的一维网格外，我们还可以根据客户的要求提供定制产品。
设计示例
Ta/SiN2层膜型光栅的衍射效率
SiN型光栅的衍射效率
标准规格
| 构造 | Ta/SiN2层型 | SiN型 |
|---|---|---|
| 光栅尺寸 | 2 mm x 2 mm | |
| 刻线数 | 100 line/mm - 2400 line/mm | |
| 梁 | 500 nm宽、50μm间隔 (与晶格垂直方向) | |
| 衍射光栅材料 | Ta (100 nm) / SiN (100 nm) | SiN (100 nm) |
| 晶片 | 10毫米x 10毫米x 0.625毫米厚，Si | |
透射型光栅结构。(a) Si框， (b) 透射型衍射光栅
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