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透射光栅

提供用于VUV, EUV和软X射线区域的模板结构衍射光栅。

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特征

图像
衍射光栅SEM像
我们提供具有模板结构的透射型衍射光子,即使在材料吸收较大的 VUV 区域、EUV 区域和软 X 射线区域也能提供高衍射效率。
可用于高次谐波光谱实验、EUV区域的元件检查/评价、X射线等离子体光谱等。除了标准的一维网格外,我们还可以根据客户的要求提供定制产品。

设计示例

图表
      Ta/SiN2层膜型光栅的衍射效率
 
图表
      SiN型光栅的衍射效率
 

标准规格

构造 Ta/SiN2层型 SiN型
光栅尺寸 2 mm x 2 mm
刻线数 100 line/mm - 2400 line/mm
500 nm宽、50μm间隔 (与晶格垂直方向)
衍射光栅材料 Ta (100 nm) / SiN (100 nm) SiN (100 nm)
晶片 10毫米x 10毫米x 0.625毫米厚,Si
透射型光栅结构。(a) Si框, (b) 透射型衍射光栅

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